[发明专利]一种动态热误差补偿系统用激光干涉仪在审

专利信息
申请号: 202211532475.6 申请日: 2022-12-01
公开(公告)号: CN115752225A 公开(公告)日: 2023-03-07
发明(设计)人: 邓琎;南朋涛;高瑜雄;郭海宁;龙忠琳 申请(专利权)人: 中国机械总院集团云南分院有限公司
主分类号: G01B9/02 分类号: G01B9/02
代理公司: 合肥左心专利代理事务所(普通合伙) 34152 代理人: 金花子
地址: 650000*** 国省代码: 云南;53
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摘要: 发明公开了一种动态热误差补偿系统用激光干涉仪,涉及激光干涉仪技术领域,具体为一种动态热误差补偿系统用激光干涉仪,包括底座,所述底座的内部活动套接有丝杆,所述丝杆的右端固定套接有小传动齿轮、大传动齿轮,所述底座的右侧活动套接有第一手轮、第二手轮,所述第一手轮的左端固定连接有大驱动齿轮,并且大驱动齿轮与小传动齿轮啮合在一起,所述第二手轮的左侧固定连接有小驱动齿轮。该动态热误差补偿系统用激光干涉仪,通过旋转第一手轮带动大驱动齿轮转动,再由大驱动齿轮带动小传动齿轮旋转,能够加快丝杆转动的速度,使滑块能够快速的左右移动,方便对激光干涉仪本体快速的进行左右调整。
搜索关键词: 一种 动态 误差 补偿 系统 激光 干涉仪
【主权项】:
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