[发明专利]一种动态热误差补偿系统用激光干涉仪

权利要求书

1.一种动态热误差补偿系统用激光干涉仪，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的内部活动套接有丝杆(2)，所述丝杆(2)的右端固定套接有小传动齿轮(3)、大传动齿轮(4)，所述底座(1)的右侧活动套接有第一手轮(5)、第二手轮(7)，所述第一手轮(5)的左端固定连接有大驱动齿轮(6)，并且大驱动齿轮(6)与小传动齿轮(3)啮合在一起，所述第二手轮(7)的左侧固定连接有小驱动齿轮(8)，并且小驱动齿轮(8)与大传动齿轮(4)啮合在一起，所述丝杆(2)的外部螺纹套接有滑块(9)，所述滑块(9)的顶部固定连接有滑台(10)，所述滑台(10)的中部活动套接有中心轴杆(12)，所述中心轴杆(12)的外部固定套接有涡轮(13)，所述涡轮(13)的右侧啮合有蜗杆(15)，所述中心轴杆(12)的顶部固定连接有支撑座(16)，所述内侧活动套接有激光干涉仪本体(18)。

2.根据权利要求1所述的一种动态热误差补偿系统用激光干涉仪，其特征在于：所述小传动齿轮(3)位于大传动齿轮(4)的左侧，所述小传动齿轮(3)与大驱动齿轮(6)之间的直径比为1：3，所述大传动齿轮(4)与小驱动齿轮(8)的直径比为3:1。

3.根据权利要求1所述的一种动态热误差补偿系统用激光干涉仪，其特征在于：所述底座(1)的顶部开设有导槽(22)，所述滑块(9)的顶部卡接在导槽(22)中。

4.根据权利要求1所述的一种动态热误差补偿系统用激光干涉仪，其特征在于：所述滑台(10)的底部活动套接有等距分布的行走轮一(11)，所述底座(1)的顶部开设有对称分布直滑槽(23)，所述行走轮一(11)卡接在直滑槽(23)中。

5.根据权利要求1所述的一种动态热误差补偿系统用激光干涉仪，其特征在于：所述蜗杆(15)活动套接在滑台(10)的内部，所述蜗杆(15)的前端延伸至滑台(10)的外部，所述蜗杆(15)的前端固定连接有第三手轮(14)。

6.根据权利要求1所述的一种动态热误差补偿系统用激光干涉仪，其特征在于：所述支撑座(16)的底部活动套接有圆周分布的行走轮二(17)，所述滑台(10)的顶部开设有圆环形状的圆滑槽(24)，所述行走轮二(17)卡接在圆滑槽(24)的内部。

7.根据权利要求1所述的一种动态热误差补偿系统用激光干涉仪，其特征在于：所述激光干涉仪本体(18)前端的侧面固定连接有转轴(19)，所述转轴(19)活动套接在支撑座(16)的内部。

8.根据权利要求1所述的一种动态热误差补偿系统用激光干涉仪，其特征在于：所述支撑座(16)的后端活动套接有螺纹杆(20)，所述螺纹杆(20)的顶部活动套接有连接杆(21)，所述连接杆(21)活动套接在激光干涉仪本体(18)的底部。