[发明专利]一种动态热误差补偿系统用激光干涉仪

说明书

本发明公开了一种动态热误差补偿系统用激光干涉仪，涉及激光干涉仪技术领域，具体为一种动态热误差补偿系统用激光干涉仪，包括底座，所述底座的内部活动套接有丝杆，所述丝杆的右端固定套接有小传动齿轮、大传动齿轮，所述底座的右侧活动套接有第一手轮、第二手轮，所述第一手轮的左端固定连接有大驱动齿轮，并且大驱动齿轮与小传动齿轮啮合在一起，所述第二手轮的左侧固定连接有小驱动齿轮。该动态热误差补偿系统用激光干涉仪，通过旋转第一手轮带动大驱动齿轮转动，再由大驱动齿轮带动小传动齿轮旋转，能够加快丝杆转动的速度，使滑块能够快速的左右移动，方便对激光干涉仪本体快速的进行左右调整。

技术领域

本发明涉及激光干涉仪技术领域，具体为一种动态热误差补偿系统用激光干涉仪。

背景技术

机床主轴在加工过程中会受到内外热源的共同影响，对于高速加工机床来说，由主轴热变形而导致的加工误差更为明显，热变形误差的产生最终将造成工件与刀具之间的相对位置发生偏差，从而造成加工误差，影响机床的加工精度，误差补偿法采用的是“软技术，即通过补偿控制系统人为地造出一种新的误差去抵消或大大减弱当前成为问题的原始误差，从而减少加工误差，提高零件尺寸精度，从而达到减少加工误差。

想要利用误差补偿法去抵消或减弱原始误差，需要先明确原始误差的数值，机床主轴热误差主要有五项：沿X轴的径向平移误差δsx、沿Y轴的径向平移误差δsy、沿Z轴的轴向平移误差δsz、绕X轴的角度误差θsx，以及绕Y轴的角度误差θsy。现有技术中采用激光干涉仪来测量机床主轴热误差，已公开专利CN215725721U，公开了一种高精度激光干涉仪包括第一固定框、水平调节机构和竖直调节机构，所述第一固定框下端固定连接有用于对第一固定框进行支撑的三角架，所述第一固定框上端设置有支架，所述支架内部设置有激光干涉仪本体，所述水平调节机构包括第一转动杆，所述第一转动杆转动连接在第一固定框底部中心位置，所述第一转动杆，上端竖直穿过第一固定框顶部固定连接在支架下端，所述第一固定框内部的第一转动杆侧壁上固定连接有第一蜗轮，所述第一蜗轮侧壁上啮合有用于带动第一蜗轮转动的第一蜗杆。上述专利存在以下不足，一、第一蜗轮和第一蜗杆之间的齿比是固定的，所以在对激光干涉仪本体进行调整时，调整的精准度也只有一种，无法对激光干涉仪本体进行较为精准的微调，二、通过第一蜗轮和第一蜗杆的转动，实际上实现的是激光干涉仪本体的转动，虽然能够使射出的光线水平偏移，但是改变了光线的角度，并不是对光线的平行移动，为此我们提供了一种动态热误差补偿系统用激光干涉仪

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种动态热误差补偿系统用激光干涉仪，解决了上述背景技术中提出的问题。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种动态热误差补偿系统用激光干涉仪，包括底座，所述底座的内部活动套接有丝杆，所述丝杆的右端固定套接有小传动齿轮、大传动齿轮，所述底座的右侧活动套接有第一手轮、第二手轮，所述第一手轮的左端固定连接有大驱动齿轮，并且大驱动齿轮与小传动齿轮啮合在一起，所述第二手轮的左侧固定连接有小驱动齿轮，并且小驱动齿轮与大传动齿轮啮合在一起，所述丝杆的外部螺纹套接有滑块，所述滑块的顶部固定连接有滑台，所述滑台的中部活动套接有中心轴杆，所述中心轴杆的外部固定套接有涡轮，所述涡轮的右侧啮合有蜗杆，所述中心轴杆的顶部固定连接有支撑座，所述内侧活动套接有激光干涉仪本体。

可选的，所述小传动齿轮位于大传动齿轮的左侧，所述小传动齿轮与大驱动齿轮之间的直径比为1：3，所述大传动齿轮与小驱动齿轮的直径比为3:1，小传动齿轮和大驱动齿轮之间属于大齿轮带动小齿轮转动，利用大驱动齿轮带动小传动齿轮转动，能够提高丝杆的转速，对滑块进行快速的调整，大传动齿轮和小驱动齿轮之间属于小齿轮带动大齿轮转动，利用小驱动齿轮带动大传动齿轮转动，能够降低丝杆的转速，对滑块进行精细的调整。

可选的，所述底座的顶部开设有导槽，所述滑块的顶部卡接在导槽中，通过设置导槽，利用导槽对滑块进行导向和限位，能够使滑块平稳的左右移动。