[发明专利]一种实现DMD多路复用的分区同时直写曝光系统在审
| 申请号： | 202211516148.1 | 申请日： | 2022-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN116125754A | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 周朝阳 | 申请（专利权）人： | 深圳光迪科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 伍传松 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种实现DMD多路复用的分区同时直写曝光系统，包括：光源、照明系统、数字微镜阵列、反射镜组、导光系统、投影系统等组成部分。本方案通过将数字微镜阵列设置成沿扫描方向分区的N个DMD子阵列，配合反射镜组和导光系统输出多个图像分区光路，每一个分区的光进入不同的第一反射镜，导光系统分别将光路进行调整并以一定的方式排列，经调整后进入到各个投影系统中，最终在工作平面呈现多个由同一片DMD投影出的拼接图像,从而可以仅用一片DMD分区完成多路同时曝光，充分利用了DMD的每一个像素，节省传统直写曝光系统的多个DMD设备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 dmd 多路复用 分区 同时 曝光 系统 | ||
【主权项】：
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