[发明专利]一种实现DMD多路复用的分区同时直写曝光系统在审
| 申请号： | 202211516148.1 | 申请日： | 2022-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN116125754A | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 周朝阳 | 申请（专利权）人： | 深圳光迪科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 伍传松 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 实现 dmd 多路复用 分区 同时 曝光 系统 | ||
1.一种实现DMD多路复用的分区同时直写曝光系统，其特征在于，包括：
光源，用于输出初始光线；
照明系统，与所述光源的输出端连接，用于对所述初始光线进行预处理以满足曝光要求；
数字微镜阵列，设置于所述照明系统的输出侧并用于控制待曝光图像的发生，所述数字微镜阵列包括沿扫描方向分区的N个DMD子阵列，N个所述DMD子阵列分别对应待曝光图像的N个不同区域且其出光方向垂直于扫描平面；
反射镜组，包括N-1个第一反射镜，N-1个所述第一反射镜分别对应反射N-1个所述DMD子阵列的输出光线；
导光系统，包括N-1个导光模块，N-1个所述导光模块分别与N-1个所述第一反射镜一一对应；
投影系统，包括N个投影模块，其中1个所述投影模块对应1个输出光线直投的DMD子阵列，其余N-1个投影模块对应接收N-1个所述导光模块的输出光线；所述投影系统用于将所述输出光线转换成投影光，并作用于工作平面。
2.根据权利要求1所述的一种实现DMD多路复用的分区同时直写曝光系统，其特征在于:N个所述DMD子阵列为控制待曝光图像的发生时相互独立的DMD子阵列。
3.根据权利要求1或2所述的一种实现DMD多路复用的分区同时直写曝光系统，其特征在于:N个所述DMD子阵列与扫描方向保持特定倾斜角。
4.根据权利要求1或2所述的一种实现DMD多路复用的分区同时直写曝光系统，其特征在于:N个所述DMD子阵列之间设置有空白间隙行数。
5.根据权利要求1所述的一种实现DMD多路复用的分区同时直写曝光系统，其特征在于:N个所述DMD子阵列与N个投影模块之间的相对位置固定。
6.根据权利要求1所述的一种实现DMD多路复用的分区同时直写曝光系统，其特征在于:所述光源采用激光器或LED光源。
7.根据权利要求1或6所述的一种实现DMD多路复用的分区同时直写曝光系统，其特征在于:所述照明模块包括依次设置的光棒、照明透镜，所述光棒通过光纤连接所述光源的输出端。
8.根据权利要求1所述的一种实现DMD多路复用的分区同时直写曝光系统，其特征在于:N个所述导光模块为第二反射镜或棱镜。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳光迪科技有限公司，未经深圳光迪科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202211516148.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
