[发明专利]一种升降辅助工装、光刻机以及光刻机的维护方法在审
| 申请号： | 202211496198.8 | 申请日： | 2022-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN115755537A | 公开（公告）日： | 2023-03-07 |
| 发明（设计）人： | 刘欢 | 申请（专利权）人： | 江苏卓胜微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市恒程创新知识产权代理有限公司 44542 | 代理人： | 鄢紫君 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种升降辅助工装、光刻机以及光刻机的维护方法，升降辅助工装包括控制装置、连接组件及开关组件，连接组件包括电源连接线以及信号传输线，电源连接线和信号传输线的一端均与控制装置电连接，电源连接线和信号传输线的另一端用于分别与光刻机的电源接头和信号传输接头电连接，开关组件与控制装置电连接，以控制电源连接线和/或信号传输线的通断，实现通过电源连接线为掩膜板承载台断电后重新供电，控制装置通过信号传输线传输解除自锁的信号，使得掩膜版承载台解除自锁，从而实现掩膜版承载台根据需要进行位置调节，从而便于清理掩膜板承载台或掩膜板有上的杂质，或者调节掩膜板位置，结构简单，易操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 升降 辅助 工装 光刻 以及 维护 方法 | ||
【主权项】：
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