[发明专利]一种升降辅助工装、光刻机以及光刻机的维护方法

权利要求书

1.一种升降辅助工装，适用于光刻机维护使用，其特征在于，所述升降辅助工装包括：

控制装置；

连接组件，包括电源连接线以及信号传输线，所述电源连接线和所述信号传输线的一端均与所述控制装置电连接，所述电源连接线和所述信号传输线的另一端用于分别与光刻机的电源接头和信号传输接头电连接；以及，

开关组件，与所述控制装置电连接，以控制所述电源连接线和/或所述信号传输线的通断。

2.如权利要求1所述的升降辅助工装，其特征在于，所述控制装置包括：

壳体，所述壳体上设置有穿设孔；以及，

控制器，安装于所述壳体内；

所述电源连接线和所述信号传输线的一端穿过所述穿设孔与所述控制器电连接。

3.如权利要求2所述的升降辅助工装，其特征在于，所述壳体一侧面呈内凹设置，以形成用以供所述开关组件安装的容纳槽；和/或，

所述升降辅助工装还包括防脱组件，所述防脱组件包括绕线部、连接绳及套环，所述绕线部的一端安装于所述壳体，所述连接绳绕设于所述绕线部上，且其一端与所述绕线部固定连接，所述套环与所述连接绳的另一端相连，所述套环用于套装于操作者的手臂上。

4.如权利要求3所述的升降辅助工装，其特征在于，还包括盖板，所述盖板对应所述容纳槽设置，且所述盖板的一端与所述壳体之间转动连接，以使得所述盖板具有运动至打开所述容纳槽的开启位置和关闭所述容纳槽的闭合位置；和/或，

所述绕线部包括绕线柱和限位盘，所述绕线柱的一端安装于所述壳体，所述绕线柱用以供所述连接绳绕设，所述限位盘设于所述绕线柱的另一端，且所述限位盘的端面与所述绕线柱的端面相抵接；和/或，

所述套环的制成材质包括橡胶。

5.如权利要求4所述的升降辅助工装，其特征在于，还包括第一锁紧组件，所述第一锁紧组件用以在所述盖板处于所述闭合位置时，将所述盖板与所述壳体锁紧固定；和/或，

所述升降辅助工装还包括第二锁紧组件，所述第二锁紧组件用以在所述盖板处于所述开启位置时，将所述盖板与所述壳体锁紧固定；和/或，

所述盖板呈透明设置；和/或，

所述盖板的制成材质包括塑料。

6.如权利要求5所述的升降辅助工装，其特征在于，所述第一锁紧组件包括第一磁体和与所述第一磁体磁吸配合的第一锁紧部，所述第一磁体和所述第一锁紧部中，其中一者设于所述盖板，另一者设于所述壳体；和/或，

所述第二锁紧组件包括第二磁体和与所述第二磁体磁吸配合的第二锁紧部，所述第二磁体和所述第二锁紧部中，其中一者设于所述盖板，另一者设于所述壳体。

7.如权利要求6所述的升降辅助工装，其特征在于，所述第一锁紧部包括铁片或者与所述第一磁体磁吸相吸的磁体；和/或，

所述第二锁紧部包括铁片或者与所述第二磁体磁吸相吸的磁体。

8.如权利要求4所述的升降辅助工装，其特征在于，所述限位盘背离所述绕线柱的端面上还设置有环形卡槽，所述环形卡槽用以供所述套环卡装。

9.一种光刻机，其特征在于，包括：

主体，具有接线区域，所述接线区域设置有电源接头和信号传输接头，所述主体内部开设有加工舱；

升降组件，包括掩膜板承载台，所述掩膜板承载台沿上下向活动安装于所述加工舱内，所述掩膜板承载台用以供待加工掩膜板安放；以及，

升降辅助工装，包括如权利要求1-8任意一项所述的升降辅助工装，所述升降辅助工装的所述电源连接线和所述信号传输线的另一端分别与所述电源接头和所述信号传输接头电连接。

10.一种基于权利要求9所述的光刻机的维护方法，其特征在于，所述维护方法的步骤包括：

将所述升降辅助工装的电源连接线和信号传输线分别对应插装于所述电源接头和所述信号传输接头，此时所述加工舱内的掩膜板承载台处于断电且自锁的状态；

按压所述开关组件，使得所述电源连接线以及信号传输线与所述控制装置电导通，以为所述掩膜板承载台供电且解除所述掩膜板承载台的自锁，使得所述掩膜板承载台可下降至维护位置；

完成对所述掩膜板承载台上的掩膜板的维护后，按压所述开关组件，以使得所述掩膜板自所述维护位置上升至加工位置；

将升降辅助工装的所述电源连接线和所述信号传输线与对应的所述电源接头和所述信号传输接头相分离，完成维护操作。