[发明专利]一种升降辅助工装、光刻机以及光刻机的维护方法

说明书

本发明公开一种升降辅助工装、光刻机以及光刻机的维护方法，升降辅助工装包括控制装置、连接组件及开关组件，连接组件包括电源连接线以及信号传输线，电源连接线和信号传输线的一端均与控制装置电连接，电源连接线和信号传输线的另一端用于分别与光刻机的电源接头和信号传输接头电连接，开关组件与控制装置电连接，以控制电源连接线和/或信号传输线的通断，实现通过电源连接线为掩膜板承载台断电后重新供电，控制装置通过信号传输线传输解除自锁的信号，使得掩膜版承载台解除自锁，从而实现掩膜版承载台根据需要进行位置调节，从而便于清理掩膜板承载台或掩膜板有上的杂质，或者调节掩膜板位置，结构简单，易操作。

技术领域

本发明涉及光刻机技术领域，具体涉及一种升降辅助工装、光刻机以及光刻机的维护方法。

背景技术

光刻机(lithography)又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。

现有的光刻机装备包括主体和升降组件，所述主体具有加工舱，所述升降组件包括沿上下向活动安装于所述加工舱内的掩膜板承载台，所述掩膜板承载台用于承载掩膜板，光刻工作时，存在掩膜板承载台或掩膜板有杂质，或者所述掩膜板位置错位等情况，当出现上述情况时，通常需要对所述掩膜板承载台进行维护，由于光刻机自身程序设定，当打开加工舱的舱门后，所述升降组件将断电且自锁，使得所述掩膜板承载台沿上下向位置无法调节，导致维护困难。

发明内容

本发明的主要目的是提出一种升降辅助工装、光刻机以及光刻机的维护方法，旨在解决打开加工舱的舱门维护掩膜板承载台时，所述升降组件将断电且自锁，使得所述掩膜板承载台沿上下向位置无法调节，导致维护困难的问题。

为实现上述目的，本发明提出一种升降辅助工装，适用于光刻机维护使用，所述升降辅助工装包括：

控制装置；

连接组件，包括电源连接线以及信号传输线，所述电源连接线和所述信号传输线的一端均与所述控制装置电连接，所述电源连接线和所述信号传输线的另一端用于分别与光刻机的电源接头和信号传输接头电连接；以及，

开关组件，与所述控制装置电连接，以控制所述电源连接线和/或所述信号传输线的通断。

可选地，所述控制装置包括：

壳体，所述壳体上设置有穿设孔；以及，

控制器，安装于所述壳体内；

所述电源连接线和所述信号传输线的一端穿过所述穿设孔与所述控制器电连接。

可选地，所述壳体一侧面呈内凹设置，以形成用以供所述开关组件安装的容纳槽；和/或，

所述升降辅助工装还包括防脱组件，所述防脱组件包括绕线部、连接绳及套环，所述绕线部的一端安装于所述壳体，所述连接绳绕设于所述绕线部上，且其一端与所述绕线部固定连接，所述套环与所述连接绳的另一端相连，所述套环用于套装于操作者的手臂上。

可选地，还包括盖板，所述盖板对应所述容纳槽设置，且所述盖板的一端与所述壳体之间转动连接，以使得所述盖板具有运动至打开所述容纳槽的开启位置和关闭所述容纳槽的闭合位置；和/或，

所述绕线部包括绕线柱和限位盘，所述绕线柱的一端安装于所述壳体，所述绕线柱用以供所述连接绳绕设，所述限位盘设于所述绕线柱的另一端，且所述限位盘的端面与所述绕线柱的端面相抵接；和/或，

所述套环的制成材质包括橡胶。

可选地，还包括第一锁紧组件，所述第一锁紧组件用以在所述盖板处于所述闭合位置时，将所述盖板与所述壳体锁紧固定；和/或，