[发明专利]封装器件的制造方法在审
| 申请号: | 202211437770.3 | 申请日: | 2022-11-15 |
| 公开(公告)号: | CN116169034A | 公开(公告)日: | 2023-05-26 |
| 发明(设计)人: | 小日向恭祐 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
| 主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L21/78;B24B37/20;B24B27/00 |
| 代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 乔婉;杨俊波 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明提供封装器件的制造方法,将与器件芯片一起被模制树脂密封的被加工物薄化且平坦化并且抑制碎裂或缺损的产生,并将该被加工物分割。该封装器件的制造方法中,在被加工物的第1区域上配设器件芯片,向比该第1区域高的第2区域和该第1区域提供模制树脂而利用该模制树脂覆盖该器件芯片和该被加工物,对该模制树脂进行加工而将该模制树脂薄化至该被加工物的该第2区域未露出且该器件芯片未露出的厚度,对该模制树脂进行研磨而使该被加工物的该第2区域露出,进一步对配设于该第1区域的该模制树脂和该第2区域进行研磨,在该被加工物的该一个面侧形成包含该模制树脂和该第2区域的平坦面,并将该被加工物分割,制造各个封装器件。 | ||
| 搜索关键词: | 封装 器件 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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