[发明专利]散射条的添加方法、存储介质

摘要

本发明公开了一种散射条的添加方法、存储介质。其中散射条的添加方法，包括：根据版图上的图形的特点，将版图分为多个区域；将符合条件的区域分隔成多个相邻的方形切片；运用模式匹配算法将切片归类为几何环境各不相同的切片；运用ILT获取散射条的种子；判断散射条的种子附近是否有主图形的边，若有，在光罩设计规则的约束下，使种子沿着最近的主图形的边方向在长度方向上生长到预设长度，形成散射条骨架，并使得所述散射条骨架在宽度方向上生长到预设宽度；若没有，则在光罩设计规则的约束下，生成方形的散射条；运用模式匹配算法将各切片上生成的散射条贴回至版图上相应位置。本发明可以适应不同的版图，同时计算量比单一的ILT要少。