[发明专利]散射条的添加方法、存储介质

权利要求书

1.一种散射条的添加方法，其特征在于，包括：

根据版图上的图形的特点，将版图分为多个区域；

将符合条件的区域分隔成多个相邻的方形切片；

以主图形为参考图形，运用模式匹配算法将切片归类为几何环境各不相同的切片；

运用ILT获取散射条的种子；

判断散射条的种子附近是否有主图形的边，若有，在光罩设计规则的约束下，使种子沿着最近的主图形的边方向在长度方向上生长到预设长度，形成散射条骨架，并使得所述散射条骨架在宽度方向上生长到预设宽度；若没有，则在光罩设计规则的约束下，生成方形的散射条；

以主图形为参考图形，运用模式匹配算法将各切片上生成的散射条贴回至版图上相应位置。

2.如权利要求1所述的散射条的添加方法，其特征在于，所述版图的多个区域包含1D、

1.5D、2D当中的至少一种区域。

3.如权利要求2所述的散射条的添加方法，其特征在于，当区域为2D时，区域为符合条件的区域。

4.如权利要求2所述的散射条的添加方法，其特征在于，当区域为1D或1.5D时，采用散射条规则表来生成对应区域的散射条。

5.如权利要求4所述的散射条的添加方法，其特征在于，所述散射条规则表基于模型模拟的方法或者实验方法获得。

6.如权利要求1所述的散射条的添加方法，其特征在于，方形切片的边长为1-10微米。

7.一种计算机可读存储介质，用于存储计算机程序，其特征在于，所述计算机程序运行时执行如权利要求1至6任意一项所述的散射条的添加方法。