[发明专利]一种化学气相沉积金刚石系统及设备

摘要

本发明提供了一种化学气相沉积金刚石系统及设备，包括腔体、腔体盖、沉积台、环形微波馈入窗、波导、同轴波导、倒置型基片台组件密封装置和倒置型基片台组件，腔体、腔体盖、沉积台、环形微波馈入窗、同轴波导、倒置型基片台组件密封装置和倒置型基片台组件围成真空密封环境，倒置型基片台组件可上下移动；微波激发的等离子体位于倒置型基片台组件的正下方。本发明通过环形微波馈入窗设置于腔体盖和沉积台之间，微波馈入窗和等离子体之间有倒置型基片台和沉积台进行了阻隔，距离等离子体较远，金刚石生长过程中伴生碳残余物质不会掉落在微波馈入窗上，同时离子化的反应气体也不会对微波馈入窗进行刻蚀，避免金刚石生长环境中引入硅或其他的杂质。