[发明专利]基板处理装置及方法在审
| 申请号： | 202211374569.5 | 申请日： | 2022-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN116266035A | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 吴英圭;李正洙;洪忠吾;郑畅和 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;王艳春 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了一种能够稳定地传送多种类型的基板的基板处理装置。该基板处理装置包括：悬浮工作台，其在第一方向上传送基板，并包括沿与第一方向不同的第二方向布置的第一区域和第二区域；多个辊，设置在第一区域中，并用于传送基板；多个第一真空孔，设置在第一区域中，并以第一压力抽吸空气；以及多个第二真空孔，设置在第二区域中，并以与第一压力不同的第二压力抽吸空气。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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