[发明专利]一种碳化硅籽晶的多角度清洗装置及其使用方法在审
| 申请号： | 202211369582.1 | 申请日： | 2022-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN115591857A | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 管家辉;杨振华;杨阳 | 申请（专利权）人： | 无锡上机数控股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/10;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京睿博行远知识产权代理有限公司 11297 | 代理人： | 张燕平 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种碳化硅籽晶的多角度清洗装置及其使用方法，属于硅单晶设备技术领域，包括壳体以及设置在壳体正面的控制模块，所述壳体内部安装有清洗槽，所述清洗槽通过设置有活动支撑机构可拆卸安装有清洗支架，所述清洗支架内部等距设置有分隔板，所述分隔板将所述清洗支架内部分隔形成多个空腔，所述空腔内部活动安装有用于碳化硅籽晶清洗用的夹持机构，所述夹持机构包括两组对称设置的夹持组件，所述壳体底面与所述夹持组件相匹配设置有冲洗组件；它可以实现利用超声清洗，并将碳化硅籽晶单独放置分离放置，避免发生相互干扰，并且在清洗时利用清洗冲击力使得碳化硅籽晶多角度旋转，避免产生清洗死角，使得清洗更加彻底。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 籽晶 角度 清洗 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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