[发明专利]一种碳化硅籽晶的多角度清洗装置及其使用方法

权利要求书

1.一种碳化硅籽晶的多角度清洗装置，包括壳体(1)以及设置在壳体(1)正面的控制模块(3)，其特征在于：所述壳体(1)内部安装有清洗槽(4)，所述清洗槽(4)底面中心安装有超声换能器(27)，且其中一侧面设置有加液管口(9)和排液管口(10)，所述清洗槽(4)通过设置有活动支撑机构可拆卸安装有清洗支架(11)，所述清洗支架(11)内部等距设置有分隔板(12)，所述分隔板(12)将所述清洗支架(11)内部分隔形成多个空腔，所述空腔内部活动安装有用于碳化硅籽晶清洗用的夹持机构，所述夹持机构包括两组对称设置的夹持组件，所述壳体(1)底面与所述夹持组件相匹配设置有冲洗组件。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅籽晶的多角度清洗装置，其特征在于：所述夹持组件包括转动安装于所述分隔板(12)侧壁的旋转支轴(13)，所述旋转支轴(13)内部滑动连接有活动支柱(14)，所述活动支柱(14)与所述旋转支轴(13)内壁之间固定安装有卡紧弹簧(15)，所述活动支柱(14)远离所述旋转支轴(13)一端固定安装有侧限位片(16)，所述侧限位片(16)表面均匀设置有夹持凸爪(17)。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅籽晶的多角度清洗装置，其特征在于：所述旋转支轴(13)内表面均匀开设有限位滑槽(20)，所述活动支柱(14)外表面设置有与所述限位滑槽(20)相匹配的限位凸边(21)。

4.根据权利要求2所述的一种碳化硅籽晶的多角度清洗装置，其特征在于：所述侧限位片(16)与所述旋转支轴(13)顶面之间设置有防水橡胶套(19)，所述防水橡胶套(19)环绕于所述活动支柱(14)外表面。

5.根据权利要求2所述的一种碳化硅籽晶的多角度清洗装置，其特征在于：所述侧限位片(16)上均匀开设有透水通孔(18)，所述夹持凸爪(17)中心通孔与其中几个所述透水通孔(18)相连通，所述夹持凸爪(17)呈锥柱状结构，且外表面包裹有橡胶层。

6.根据权利要求1所述的一种碳化硅籽晶的多角度清洗装置，其特征在于：所述活动支撑机构包括固定安装于所述清洗槽(4)内部四角的底支撑柱(5)以及设置于所述清洗支架(11)四角的连接套筒(31)，所述连接套筒(31)顶端固定安装有限位支撑柱(6)，所述限位支撑柱(6)顶端转动安装有活动帽(7)，所述活动帽(7)侧面设置有卡紧凸块(8)，所述连接套筒(31)中心贯穿开设有与所述限位支撑柱(6)直径相同的连接通槽，且侧边开设有与所述卡紧凸块(8)相匹配的侧边槽(28)。

7.根据权利要求6所述的一种碳化硅籽晶的多角度清洗装置，其特征在于：所述活动帽(7)内壁开设有限位槽(30)，所述限位支撑柱(6)位于所述活动帽(7)内部一端侧面设置有限位挡片(29)，所述限位挡片(29)滑动嵌入于所述限位槽(30)内部。

8.根据权利要求6所述的一种碳化硅籽晶的多角度清洗装置，其特征在于：所述冲洗组件包括设置所述清洗槽(4)内部底面的出水喷头(23)和下水口(24)，所述出水喷头(23)设置有多组，且与所述夹持机构一一对应，所述清洗槽(4)底面一侧安装有循环泵(25)，多组所述出水喷头(23)通过设置有多通连管(26)相互串联，且与所述循环泵(25)的出液端口相连接，所述下水口(24)通过管道与所述循环泵(25)的进液端口相连接。

9.根据权利要求6所述的一种碳化硅籽晶的多角度清洗装置，其特征在于：所述侧限位片(16)侧面边缘均匀设置有拨片(22)，所述拨片(22)的凸起高度小于所述夹持凸爪(17)的凸起高度。

10.一种碳化硅籽晶的多角度清洗装置使用方法，其特征在于：所述使用方法应用于权利要求1-9其中任一所述的一种碳化硅籽晶的多角度清洗装置，包括以下步骤：

步骤S1、碳化硅籽晶夹持：将对称设置的两个侧限位片(16)同时向两侧推动，使得卡紧弹簧(15)进行压缩，从而将活动支柱(14)收缩至旋转支轴(13)内部，将碳化硅籽晶放置在两个侧限位片(16)的撑开缝隙之间，同时利用卡紧弹簧(15)的反向弹力，经过夹持凸爪(17)将碳化硅籽晶进行抵紧夹持；

步骤S2、支撑架安装：将活动帽(7)进行转动，使得卡紧凸块(8)调整至与侧边槽(28)匹配的角度，同时将连接套筒(31)套接在活动帽(7)表面，向下推动完全套接在限位支撑柱(6)外表面，同时反向拧动活动帽(7)，利用卡紧凸块(8)对连接套筒(31)顶端进行限制，使得清洗支架(11)稳定放置在清洗槽(4)内部；

步骤S3、清洗液添加：可通过加液管口(9)连接清洗液供给设备，定量地向清洗槽(4)内部添加清洗液，清洗液高度至少要超过清洗支架(11)顶面的所在的高度；

步骤S4、多角度清洗：通过控制模块(3)启动超声换能器(27)，利用超声换能器(27)对碳化硅籽晶进行超声清洗，同时启动循环泵(25)，通过下水口(24)抽取清洗槽(4)内部的清洗液，同时由出水喷头(23)喷出柱状水流，并冲击在侧限位片(16)侧边的拨片(22)表面，从而利用冲击力使得侧限位片(16)像风车一样进行转动，进而实现更加高效的多角度清洗。