[发明专利]微电子元件及其制备方法、电子设备在审
| 申请号： | 202211349675.8 | 申请日： | 2022-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN115933160A | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 康晓旭;陈寿面 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司;上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 蔡维华;刘芳 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供微电子元件及其制备方法、电子设备，涉及集成电路技术领域。微电子元件包括基底、支撑柱、调节结构和微镜结构；支撑柱的一端设置于基底，另一端连接微镜结构；调节结构包括用于存储电荷且相对设置的第一电极和第二电极，第一电极固定设置于支撑柱，第二电极设置于第一电极沿第一方向远离基底的一侧，且第二电极连接微镜结构的第一端；调节结构被配置为：当第一电极和第二电极所存储的电荷量变化时，第一电极驱动第二电极沿第一方向移动，以使第二电极带动微镜结构转动。本申请能够解决具有微振镜的微电子元件结构复杂，且微振镜偏转角度的调节过程难度大的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 微电子 元件 及其 制备 方法 电子设备 | ||
【主权项】：
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