[发明专利]微电子元件及其制备方法、电子设备

权利要求书

1.一种微电子元件，其特征在于，包括基底、支撑柱、调节结构和微镜结构；

所述支撑柱的一端设置于所述基底，另一端连接所述微镜结构；

所述调节结构包括用于存储电荷且相对设置的第一电极和第二电极，所述第一电极固定设置于所述支撑柱，所述第二电极设置于所述第一电极沿第一方向远离所述基底的一侧，且所述第二电极连接所述微镜结构的第一端；

所述调节结构被配置为：当所述第一电极和所述第二电极所存储的电荷量变化时，所述第一电极驱动所述第二电极沿所述第一方向移动，以使所述第二电极带动所述微镜结构转动。

2.根据权利要求1所述的微电子元件，其特征在于，所述支撑柱设置有至少两个，各所述支撑柱远离所述基底的一端各连接一个所述第一电极。

3.根据权利要求2所述的微电子元件，其特征在于，所述支撑柱包括接触部，所述接触部包括沿所述第一方向层叠设置的第一接触部、绝缘层和第二接触部；

所述第一接触部电连接对应的所述第一电极，以向对应的所述第一电极提供电荷；所述第二接触部电连接对应的所述第二电极，以向对应的所述第二电极提供电荷。

4.根据权利要求3所述的微电子元件，其特征在于，所述支撑柱还包括沿所述第一方向设置的导电部和布线部，所述导电部设置于所述布线部靠近所述接触部的一端；

所述导电部包括第一导电层、隔离部和第二导电层，所述第二导电层的一端电连接所述第二接触部；所述隔离部设置于所述第二导电层的外侧，所述隔离部的一端连接所述绝缘层；所述第一导电部设置于所述隔离部的外侧，所述第一导电层的一端连接所述第一接触部；

所述布线部包括主体，以及设置于所述主体的第一导线和第二导线，所述主体连接所述隔离部远离所述绝缘层的一端，所述第一导线电连接所述第一导电层的远离所述第一接触部的一端，所述第二导线电连接所述第二导电层远离所述第二接触部的一端。

5.根据权利要求4所述的微电子元件，其特征在于，所述第一导线和所述第二导线同层布置，所述主体内还设置有第一导电孔和第二导电孔，所述第一导电孔和所述第二导电孔所在层设置于所述第一导线和所述第二导线所在层远离所述基底的一侧；

所述第一导电孔的第一端电连接所述第一导电层，所述第一导电孔的第二端电连接所述第一导线，所述第二导电孔的第一端电连接所述第二导电层，所述第二导电孔的第二端电连接所述第二导线。

6.根据权利要求1所述的微电子元件，其特征在于，所述微镜结构包括支撑梁和多个同层布置的微镜单元，所述支撑梁设置于所述多个微镜单元的外侧，并连接所述第二电极。

7.根据权利要求6所述的微电子元件，其特征在于，所述多个微镜单元呈多行多列排布，相邻的两个所述微镜单元之间设置有连接架；

所述连接架连接对应的所述微镜单元，并连接于所述支撑梁的内侧。

8.根据权利要求6任一项所述的微电子元件，其特征在于，所述支撑梁的数量设置为四个，四个所述支撑梁首尾依次连接，并围设成矩形；

所述调节结构的数量设置为四个，每个所述第二电极均对应设置于一个所述支撑梁，并连接对应的所述支撑梁。

9.根据权利要求1-8任一项所述的微电子元件，其特征在于，所述调节结构还包括介质层，所述介质层设置于所述第一电极；

所述第二电极包括多个弯折部，所述多个弯折部沿第二方向依次连接，所述第二方向垂直于所述第一方向，至少部分所述弯折部连接所述微镜结构，且至少部分所述弯折部连接所述介质层远离所述第一电极的表面。

10.根据权利要求1所述的微电子元件，其特征在于，所述基底设置有静电吸引层，以带动所述微镜结构靠近或远离所述基底。

11.根据权利要求10所述的微电子元件，其特征在于，所述静电吸引层包括多个静电吸引部，所述多个静电吸引部呈多行多列分布。