[发明专利]微电子元件及其制备方法、电子设备

说明书

本申请提供微电子元件及其制备方法、电子设备，涉及集成电路技术领域。微电子元件包括基底、支撑柱、调节结构和微镜结构；支撑柱的一端设置于基底，另一端连接微镜结构；调节结构包括用于存储电荷且相对设置的第一电极和第二电极，第一电极固定设置于支撑柱，第二电极设置于第一电极沿第一方向远离基底的一侧，且第二电极连接微镜结构的第一端；调节结构被配置为：当第一电极和第二电极所存储的电荷量变化时，第一电极驱动第二电极沿第一方向移动，以使第二电极带动微镜结构转动。本申请能够解决具有微振镜的微电子元件结构复杂，且微振镜偏转角度的调节过程难度大的问题。

技术领域

本申请涉及集成电路的领域，尤其涉及微电子元件及其制备方法、电子设备。

背景技术

微振镜是一种常见的微电子结构，广泛应用于汽车激光雷达等领域，随着汽车自动驾驶技术的发展，具有微振镜的微电子元件也在不断地创新与改进。

目前在具有微振镜的微电子元件中，通常利用电磁驱动等方式实现微振镜偏转角度的调节过程，然而，上述微电子元件结构复杂，且微振镜偏转角度的调节过程难度大。

发明内容

本申请提供微电子元件及其制备方法、电子设备，用以解决微电子元件的结构复杂，且微振镜偏转角度的调节过程难度大的问题。

本申请提供的微电子元件，包括基底、支撑柱、调节结构和微镜结构；

所述支撑柱的一端设置于所述基底，另一端连接所述微镜结构；

所述调节结构包括用于存储电荷且相对设置的第一电极和第二电极，所述第一电极固定设置于所述支撑柱，所述第二电极设置于所述第一电极沿第一方向远离所述基底的一侧，且所述第二电极连接所述微镜结构的第一端；

所述调节结构被配置为：当所述第一电极和所述第二电极所存储的电荷量变化时，所述第一电极驱动所述第二电极沿所述第一方向移动，以使所述第二电极带动所述微镜结构转动。

通过采用上述技术方案，通过在支撑柱与微镜结构的第一端之间设置调节结构，当需要对微镜结构的偏转角度进行调节时，在第一电极和第二电极内充入电荷，从而通过改变第一电极和第二电极之间的相互作用力，以对调节结构内第一电极与第二电极之间的距离进行调节，进而改变微镜结构第一端与支撑柱之间的距离；当调节结构第一电极与第二电极之间的距离不同时，微镜结构第一端与支撑柱之间的距离不同，以使微镜结构倾斜设置，从而能够通过改变各调节结构内第一电极与第二电极之间的距离，实现微镜结构偏转角度的调节过程，进而简化了带有微振镜的微电子元件的结构，并且使得微振镜偏转角度的调节过程更加方便。

在一些可能的实施方式中，所述支撑柱设置有至少两个，各所述支撑柱远离所述基底的一端各连接一个所述第一电极。

在一些可能的实施方式中，所述支撑梁和所述转动梁均沿所述第一方向延伸，所述支撑梁与所述转动梁相对设置；

所述支撑柱的数量设置为两个，所述支撑柱的第一端连接所述支撑梁，所述支撑柱的第二端连接所述转动梁。

在一些可能的实施方式中，所述支撑柱包括接触部，所述接触部包括沿所述第一方向层叠设置的第一接触部、绝缘层和第二接触部；

所述第一接触部电连接对应的所述第一电极，以向对应的所述第一电极提供电荷；所述第二接触部电连接对应的所述第二电极，以向对应的所述第二电极提供电荷。

在一些可能的实施方式中，所述支撑柱还包括沿所述第一方向设置的导电部和布线部，所述导电部设置于所述布线部靠近所述接触部的一端；

所述导电部包括第一导电层、隔离部和第二导电层，所述第二导电层的一端电连接所述第二接触部；所述隔离部设置于所述第二导电层的外侧，所述隔离部的一端连接所述绝缘层；所述第一导电部设置于所述隔离部的外侧，所述第一导电层的一端连接所述第一接触部；