[发明专利]一种具有浸泡清洁功能的硅片加工同步直线输送装置在审
| 申请号： | 202211318888.4 | 申请日： | 2022-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN115555340A | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 刘君;余江湖;郑松 | 申请（专利权）人： | 安徽晶天新能源科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B1/02;F26B21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 243000 安徽省马鞍山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有浸泡清洁功能的硅片加工同步直线输送装置，该硅片加工同步直线输送装置旨在解决现在的硅片抛光加工后表面残留的抛光液与废渣混合物会影响硅片的外观和使用性能的技术问题。该硅片加工同步直线输送装置包括水箱、沿水箱长度方向设置于水箱上方的输送机构。该硅片加工同步直线输送装置采用具有多级进出水箱的输送机构，令抛光加工后的硅片可以实现在水中的二次浸泡清洁，输送机构两端可对接硅片的加工处理机构，完美适配于当下的流水线生产作业，配合可切换的硅片锁定机构，不会出现清洁死角，利用水箱中的低频共振仪令进入水体的硅片持续受到水体的撞击作用，硅片表面的杂质和废渣更容易剥离。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 浸泡 清洁 功能 硅片 加工 同步 直线 输送 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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