[发明专利]提高条波导非线性系数的方法、条波导及光器件在审

专利信息
申请号: 202211297358.6 申请日: 2022-10-21
公开(公告)号: CN115657206A 公开(公告)日: 2023-01-31
发明(设计)人: 雷蕾;叶文涛;何苏 申请(专利权)人: 深圳大学
主分类号: G02B6/122 分类号: G02B6/122;G02B6/13;G02B6/12;G02F1/365
代理公司: 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 代理人: 葛泽龙
地址: 518060 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 本申请涉及光波导技术领域,提供一种提高条波导非线性系数的方法、条波导及光器件,该方法包括如下步骤:准备条波导,所述条波导包括依次层叠设置的硅基层、二氧化硅层和单晶硅层;在所述二氧化硅层表面且背离所述硅基层的一侧制备非线性增强层,以使所述条波导在TM模式下的非线性系数随所述非线性增强层的厚度的增加而呈总体上升趋势。该条波导还包括设于所述二氧化硅层表面且背离所述硅基层的一侧的非线性增强层,所述条波导在TM模式下的非线性系数随所述非线性增强层的厚度的增加而呈总体上升趋势。本申请通过设计非线性聚合物来增强倏逝波光场与非线性聚合物的相互作用,从而解决器件在TM模式下条波导非线性效应较低的问题。
搜索关键词: 提高 波导 非线性 系数 方法 器件
【主权项】:
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