[发明专利]一种激光器芯片自动测试设备在审
申请号: | 202211226976.1 | 申请日: | 2022-10-09 |
公开(公告)号: | CN115453330A | 公开(公告)日: | 2022-12-09 |
发明(设计)人: | 姚昌余 | 申请(专利权)人: | 枝江亿硕半导体有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 武汉天领众智专利代理事务所(普通合伙) 42300 | 代理人: | 郭成星 |
地址: | 443000 湖北省宜昌市枝江*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种激光器芯片自动测试设备,包括:基座,为本装置的主体平台,所述基座的上端设有防尘盖;所述基座的上表面通过铆钉固定安装有:晶圆放置台、高温检测台、常温检测台、检测机构、分类放置台、转运检测台,所述高温检测台设置在所述晶圆放置台的左侧,所述常温检测台设置在所述高温检测台的左侧,所述分类放置台设置在所述常温检测台的左侧,所述检测机构设于所述常温检测台与所述高温检测台的前端,所述检测机构共设置两组;该用于激光芯片的检测装置,能够利用三组检测平台,对激光芯片进行高温与常温下的检测,从而更准确的检测激光芯片的体质,同时也具有相当高的检测效率,能够满足大批量激光芯片的快速检测需求。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光器 芯片 自动 测试 设备 | ||
【主权项】:
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