[发明专利]一种激光器芯片自动测试设备

权利要求书

1.一种激光器芯片自动测试设备，其特征在于，包括：

基座(1)，为本装置的主体平台，所述基座(1)的上端设有防尘盖(2)；

所述基座(1)的上表面通过铆钉固定安装有：晶圆放置台(3)、高温检测台(4)、常温检测台(5)、检测机构(6)、分类放置台(7)、转运检测台(8)，所述高温检测台(4)设置在所述晶圆放置台(3)的左侧，所述常温检测台(5)设置在所述高温检测台(4)的左侧，所述分类放置台(7)设置在所述常温检测台(5)的左侧，所述检测机构(6)设于所述常温检测台(5)与所述高温检测台(4)的前端，所述检测机构(6)共设置两组；所述转运检测台(8)设于所述晶圆放置台(3)与所述高温检测台(4)与所述常温检测台(5)以及所述分类放置台(7)的后方，所述转运检测台(8)的正面通过螺钉固定安装有检测探头(9)，所述检测探头(9)延伸至所述晶圆放置台(3)与所述高温检测台(4)与所述常温检测台(5)的上端，所述检测探头(9)共设置三组。

2.根据权利要求1所述的一种激光器芯片自动测试设备，其特征在于，所述基座(1)的表面四角通过螺钉固定安装有万向轮(11)与定位脚(12)。

3.根据权利要求1所述的一种激光器芯片自动测试设备，其特征在于，所述防尘盖(2)的外侧设有操作面板(21)与开合门(22)。

4.根据权利要求1所述的一种激光器芯片自动测试设备，其特征在于，所述晶圆放置台(3)包括：平台旋转机构(31)、横向滑台(32)、横向滑动电机(33)、纵向滑台(34)、纵向驱动电机(35)、纵向滑动平台(36)、扩晶盘(37)，其中所述平台旋转机构(31)为晶圆放置台(3)与所述基座(1)之间的连接机构，所述横向滑台(32)固定安装于所述平台旋转机构(31)的上端，所述纵向滑台(34)滑动安装于所述横向滑台(32)的上端，所述纵向滑台(34)与所述横向滑台(32)之间构成滑动结构，所述横向滑动电机(33)固定安装于所述横向滑台(32)的外侧，所述横向滑动电机(33)与所述纵向滑台(34)之间通过同步带进行连接，所述纵向滑动平台(36)滑动安装在所述纵向滑台(34)的上端，所述纵向滑动平台(36)与所述纵向滑台(34)之间构成滑动结构，所述纵向驱动电机(35)设于所述纵向滑动平台(36)的外侧，所述纵向驱动电机(35)与所述纵向滑动平台(36)之间通过同步带进行连接，所述扩晶盘(37)固定安装于所述纵向滑动平台(36)的上端。

5.根据权利要求1所述的一种激光器芯片自动测试设备，其特征在于，所述高温检测台(4)的内侧设置有：第一旋转电机(41)与第一转动轮(42)，其中所述第一转动轮(42)与所述第一转动轮(42)之间通过同步带进行连接，所述第一转动轮(42)的上端设有高温放置台(43)，所述高温检测台(4)的上端还设有第一激光测距器(44)、第一测直器(45)，所述第一激光测距器(44)设于所述高温放置台(43)的后侧，所述第一测直器(45)安装于所述第一激光测距器(44)的上端。

6.根据权利要求1所述的一种激光器芯片自动测试设备，其特征在于，所述常温检测台(5)的内侧设置有第二旋转电机(51)与第二转动轮(52)，其中所述第二转动轮(52)与所述第二转动轮(52)之间通过同步带进行连接，所述第二转动轮(52)的上端设有常温尖锥放置台(53)，所述常温检测台(5)的上还设有第二激光测距器(54)、第二测直器(55)，所述第二激光测距器(54)设于所述常温尖锥放置台(53)的后侧，所述第二测直器(55)安装于所述第二激光测距器(54)的上端。

7.根据权利要求1所述的一种激光器芯片自动测试设备，其特征在于，所述检测机构(6)还包括有：检测支撑架(61)为检测机构(6)的主要支撑部件，所述检测机构(6)的上端固定安装有升降驱动器(62)与芯片检测头(63)，所述芯片检测头(63)与所述检测支撑架(61)之间的连接方式为滑动连接，所述芯片检测头(63)上设有检测探针(64)，所述检测探针(64)共设置两组。