[发明专利]一种激光器芯片自动测试设备在审
申请号: | 202211226976.1 | 申请日: | 2022-10-09 |
公开(公告)号: | CN115453330A | 公开(公告)日: | 2022-12-09 |
发明(设计)人: | 姚昌余 | 申请(专利权)人: | 枝江亿硕半导体有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28 |
代理公司: | 武汉天领众智专利代理事务所(普通合伙) 42300 | 代理人: | 郭成星 |
地址: | 443000 湖北省宜昌市枝江*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 激光器 芯片 自动 测试 设备 | ||
本发明公开了一种激光器芯片自动测试设备,包括:基座,为本装置的主体平台,所述基座的上端设有防尘盖;所述基座的上表面通过铆钉固定安装有:晶圆放置台、高温检测台、常温检测台、检测机构、分类放置台、转运检测台,所述高温检测台设置在所述晶圆放置台的左侧,所述常温检测台设置在所述高温检测台的左侧,所述分类放置台设置在所述常温检测台的左侧,所述检测机构设于所述常温检测台与所述高温检测台的前端,所述检测机构共设置两组;该用于激光芯片的检测装置,能够利用三组检测平台,对激光芯片进行高温与常温下的检测,从而更准确的检测激光芯片的体质,同时也具有相当高的检测效率,能够满足大批量激光芯片的快速检测需求。
技术领域
本发明涉及激光芯片测试技术领域,具体为一种激光器芯片自动测试设备。
背景技术
随着互联网和多媒体通讯的需求不断增长,科技水平的不断推进,因此对于多种网络的硬件需求也随之增高,光纤通信凭借其高带宽,低延迟,逐渐应用于网络通信等领域,包括激光器芯片等光电子器件的发展也在成熟起来,而激光芯片在生产过程中会由于其生产工艺限制,出现体质的不同,因此还需要使用检测设备,对激光芯片的体质进行检测。
如申请号CN2021215581 16本发明公开了一种芯片自动测试设备,包括:测试机台,所述测试机台上阵列设置有多个测试模组;.上下料机构,所述上下料机构设置于测试机台的侧边,用于放置芯片的料盘;飞梭机构,所述飞梭机构的一-进出料端设置于上下料机构处,飞梭机构的另-进出料端设置于测试模组处;上下料机头机构,所述上下料机头机构设置于上下料机构的上方位置;测试机头机构,所述测试机头机构设置于测试机台的上方位置。本发明通过自动化测试代替了人工劳动,采用两块载料台的飞梭机构交替往复运动满足机台快速高效的需求,从而提高机台的整体效率,不仅定位精准,而且能够大大提高测试效率,支持多组芯片同时上料、下料、测试的优点。
类似于上述激光芯片检测装置目前还存在以下几点不足:
由于激光芯片需要维持在高温环境下运作,激光芯片的耐温体质能直接影响其性能水平,现有装置无法满足高温下的激光芯片检测需求。
于是,有鉴于此,针对现有的结构及缺失予以研究改良,提出一种激光器芯片自动测试设备,以期达到更具有实用价值性的目的。
发明内容
本发明的目的在于提供一种激光器芯片自动测试设备,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种激光器芯片自动测试设备,包括:
基座,为本装置的主体平台,所述基座的上端设有防尘盖;
所述基座的上表面通过铆钉固定安装有:晶圆放置台、高温检测台、常温检测台、检测机构、分类放置台、转运检测台,所述高温检测台设置在所述晶圆放置台的左侧,所述常温检测台设置在所述高温检测台的左侧,所述分类放置台设置在所述常温检测台的左侧,所述检测机构设于所述常温检测台与所述高温检测台的前端,所述检测机构共设置两组;所述转运检测台设于所述晶圆放置台与所述高温检测台与所述常温检测台以及所述分类放置台的后方,所述转运检测台的正面通过螺钉固定安装有检测探头,所述检测探头延伸至所述晶圆放置台与所述高温检测台与所述常温检测台的上端,所述检测探头共设置三组。
优选的,所述基座的表面四角通过螺钉固定安装有万向轮与定位脚。
优选的,所述防尘盖的外侧设有操作面板与开合门。
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