[发明专利]主动元件基板、电容装置以及主动元件基板的制造方法

摘要

本发明公开一种主动元件基板、电容装置以及主动元件基板的制造方法，其中该主动元件基板，包括基板以及位于基板之上的第一薄膜晶体管以及第二薄膜晶体管。第一薄膜晶体管包括第一金属氧化物层、第一栅极、第一源极以及第一漏极。第一栅介电层以及第二栅介电层位于第一栅极与第一金属氧化物层之间。第二薄膜晶体管包括第二金属氧化物层、第二栅极、第二源极以及第二漏极。第二栅介电层位于第二栅极与第二金属氧化物层之间，且第二金属氧化物层位于第一栅介电层与第二栅介电层之间。第一栅极与第二栅极属于同一图案化层。