[发明专利]具有聚合物背板的垫调节器在审
| 申请号： | 202211198330.7 | 申请日： | 2022-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN115870893A | 公开（公告）日： | 2023-03-31 |
| 发明（设计）人： | D·耶内尔;J·索萨;E·巴卢;L·厄乌尔;A·祖特时 | 申请（专利权）人： | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号： | B24D11/00 | 分类号： | B24D11/00;B24D11/02 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 李婷 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请案涉及一种具有聚合物背板的垫调节器。一种化学机械平坦化CMP垫调节器组合件包含包括至少一种聚合物及至少一种添加剂的背板。所述至少一种添加剂以足以导致背板具有磁性性质、颜色性质、结构性质或其任何组合中的至少一者的量存在。所述CMP垫调节器组合件包含多个区段，所述多个区段包含陶瓷衬底及与所述陶瓷衬底成一体的多个激光纹理化突部。所述多个激光纹理化突部经涂覆有保形金刚石层。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 聚合物 背板 调节器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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