[发明专利]具有聚合物背板的垫调节器

权利要求书

1.一种化学机械平坦化CMP垫调节器组合件，其包括：

背板，其包括至少一种聚合物及至少一种添加剂，

其中所述至少一种添加剂以足以导致背板具有磁性性质、颜色性质、结构性质或其任何组合中的至少一者的量存在；以及

多个区段，其包括陶瓷衬底及与所述陶瓷衬底成一体的多个激光纹理化突部，

其中所述多个激光纹理化突部经涂覆有保形金刚石层。

2.一种化学机械平坦化CMP垫调节器组合件，其包括：

增材制造的背板，其包括至少一种聚合物及至少一种添加剂，

其中所述至少一种添加剂以足以导致背板具有磁性性质、颜色性质、结构性质或其任何组合中的至少一者的量存在；以及

多个区段，其包括陶瓷衬底及与所述陶瓷衬底成一体的多个激光纹理化突部，

其中所述多个激光纹理化突部经涂覆有保形金刚石层。

3.根据权利要求1或2所述的CMP垫调节器组合件，其中所述至少一种添加剂包括金属颗粒填料、颜料填料、结构填料或其任何组合中的至少一者。

4.根据权利要求1或2所述的CMP垫调节器组合件，其中所述至少一种添加剂包括嵌入于所述背板中的磁性构件。

5.根据权利要求4所述的CMP垫调节器组合件，其中所述磁性构件经配置以通过磁力将所述背板固定到一结构。

6.根据权利要求1或2所述的CMP垫调节器组合件，其中所述至少一种添加剂包括颜料填料，其中所述颜料填料包括热活化颜料填料。

7.根据权利要求6所述的CMP垫调节器组合件，其中所述热活化颜料填料经配置以在预定温度下导致颜色变化。

8.根据权利要求1或2所述的CMP垫调节器组合件，其中所述聚合物包括以下中的至少一者：丙烯腈丁二烯苯乙烯ABS；聚碳酸酯；聚酯纤维；尼龙；聚氯乙烯PVC；聚丙烯PP；聚对苯二甲酸乙二醇酯PET；聚醚醚酮PEEK；聚醚酮PEK；聚四氟乙烯PTFE；或其任何组合。

9.根据权利要求2所述的CMP垫调节器组合件，其中所述增材制造的背板具有整体构造的单片式结构。

10.根据权利要求9所述的CMP垫调节器组合件，其中所述背板包括一或多个聚合物层。