[发明专利]一种磁控溅射镀膜机的工件内曲面镀膜机构在审
| 申请号： | 202211188693.2 | 申请日： | 2022-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN115369369A | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 谢冬柏;李强;姜卫国;郭辉;付晓静 | 申请（专利权）人： | 潍坊科技学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 河北冀狮专利代理事务所(特殊普通合伙) 13174 | 代理人： | 戴绪霖 |
| 地址： | 262700 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种新的薄膜镀膜机构，即工件的内曲面每个位置绕着旋转轴线做旋转运动时的靶距均匀变化，保证了曲面内部每个位置的沉积速率趋于相同，镀膜均匀，效果良好。同时，本发明原理简单，操作性强，工件适用范围广，实现方便，工艺可控，稳定性好，成本低。并通过实践证明，采取本发明，显著的提高了内曲面工件镀膜的均匀性，提升了镀膜效果，对现有的磁控溅射镀真空镀膜机改造方便，成本低，还能降低原有真空镀膜机的能耗，具有较好的市场应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 镀膜 工件 曲面 机构 | ||
【主权项】：
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