[发明专利]一种磁控溅射镀膜机的工件内曲面镀膜机构在审
| 申请号： | 202211188693.2 | 申请日： | 2022-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN115369369A | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 谢冬柏;李强;姜卫国;郭辉;付晓静 | 申请（专利权）人： | 潍坊科技学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 河北冀狮专利代理事务所(特殊普通合伙) 13174 | 代理人： | 戴绪霖 |
| 地址： | 262700 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 镀膜 工件 曲面 机构 | ||
【权利要求书】：
1.一种磁控溅射镀膜机的工件内曲面镀膜机构，其特征在于：其包括磁控溅射镀膜机的公转盘和工件自转机构；所述工件自转机构包括固定在所述磁控溅射镀膜机的公转盘上的自转盘，自转盘与双头万向联轴节的一端连接，双头万向联轴节的另一端连接一根转轴，转轴用轴承固定在一块安装板上，转轴另一端设置调整螺母以连接工件，所述安装板固定在所述公转盘上。
2.如权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜机的工件内曲面镀膜机构，其特征在于：所述固定转轴的轴承的轴承座上设置有弧形螺栓槽，用以调整转轴的倾斜角度及靶距。
3.如权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜机的工件内曲面镀膜机构，其特征在于：所述转轴另一端设置的调整螺母可以根据加工零件的需要进行更换。
4.如权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜机的工件内曲面镀膜机构，其特征在于：所述公转盘公转时，连接工件的自转盘同时转动。
5.如权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜机的工件内曲面镀膜机构，其特征在于：所述自转盘转动时，工件只绕固定工件的转轴中心转动，不做水平方向移动。
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