[发明专利]一种基于图像检测的掩膜版生产优化方法及系统有效
| 申请号： | 202211187420.6 | 申请日： | 2022-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN115272329B | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 杨伟;谢双军 | 申请（专利权）人： | 中科卓芯半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06Q10/04;G06Q50/04;G06V10/74;G01N21/956 |
| 代理公司： | 苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司 32261 | 代理人： | 李蓉蓉 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张家*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于图像检测的掩膜版生产优化方法及系统，涉及掩膜版数据处理领域，其中，所述方法包括：得到生产参数信息；得到初始图像采集结果，根据定位特征识别结果进行初始图像采集结果的位置校正；对完成位置校正的初始图像采集结果进行分区域异常特征匹配，得到异常特征匹配结果，在第二图像采集时间进行目标掩膜版的图像采集，得到认证图像采集结果；结合初始图像采集结果进行同位置特征比对，获得新增特征信息；根据关联关系构建结果生成生产优化参数；基于生产优化参数进行掩膜版的生产优化。达到了提高掩膜版的图像检测的准确性，进而提高掩膜版的缺陷检测效果，有效地提升了掩膜版的生产质量等技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 图像 检测 掩膜版 生产 优化 方法 系统 | ||
【主权项】：
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