[发明专利]掩膜版组件及蒸镀系统

摘要

本申请提供一种掩膜版组件及蒸镀系统，涉及蒸镀设备技术领域，其旨在解决掩膜版与蒸镀后的基板分离过程中容易导致基板损伤，导致其良率下降的技术问题，该掩膜版组件设置在待蒸镀基板的下方，掩膜版组件包括掩膜版及边框；掩膜版包括相对设置的第一表面和第二表面，第一表面与边框贴合，第二表面用于与待蒸镀基板贴合；边框设置有进气口、出气口以及引气通道，掩膜版设置有通孔，通孔一端与出气口连通，通孔的另一端贯通至第二表面。本申请提供的掩膜版组件及蒸镀系统，能够降低基板与掩膜版分离过程中造成基板损伤的现象发生。