[发明专利]掩膜版组件及蒸镀系统

权利要求书

1.一种掩膜版组件，其特征在于，包括掩膜版及边框；

所述掩膜版具有相对设置的第一表面和第二表面，所述第一表面与所述边框贴合，所述第二表面用于与待蒸镀基板贴合；

所述边框设置有进气口、出气口以及引气通道，所述引气通道设置在所述边框内，所述引气通道分别与所述进气口和所述出气口连通；

所述掩膜版设置有通孔，所述通孔一端与所述出气口连通，所述通孔的另一端贯通至所述第二表面。

2.根据权利要求1所述的掩膜版组件，其特征在于，所述边框为矩形边框，所述进气口位于所述边框的外周侧面上；

所述出气口位于所述边框朝向所述待蒸镀基板的顶面上。

3.根据权利要求2所述的掩膜版组件，其特征在于，所述边框设置有两个出气口，两个所述出气口呈对角设置在所述边框上；

优选地，所述边框设置有两个所述进气口以及两个所述引气通道；

各所述引气通道分别与一个所述进气口和一个所述出气口连通。

4.根据权利要求2所述的掩膜版组件，其特征在于，所述边框设置有多个出气口，多个所述出气口沿所述边框的周向间隔布置；

优选地，所述边框设置有多个所述进气口以及多个所述引气通道，各所述引气通道分别与一个所述进气口、一个所述出气口连通；

或，所述边框设置有一个所述引气通道；所述引气通道沿所述边框的周向设置，且多个所述出气口均与所述引气通道连通，所述引气通道与至少一个所述进气口连通。

5.根据权利要求2所述的掩膜版组件，其特征在于，沿所述边框的周向，所述出气口设置在所述边框朝向所述待蒸镀基板的顶面上。

6.根据权利要求5所述的掩膜版组件，其特征在于，所述边框设置有一个所述引气通道和至少一个所述进气口，所述出气口和所述进气口通过所述引气通道连通。

7.根据权利要求5所述的掩膜版组件，其特征在于，所述边框设置有多个进气口以及多个所述引气通道；

各所述引气通道的一侧分别与各所述进气口连通，各所述引气通道的另一侧与所述出气口连通。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的掩膜版组件，其特征在于，所述引气通道沿所述边框厚度方向的截面包括相连通的水平延伸段和倾斜延伸段；

所述水平延伸段与所述进气口连通，所述倾斜延伸段与所述出气口连通。

9.一种蒸镀系统，其特征在于，包括蒸镀腔室以及设置在所述蒸镀腔室内的磁铁背板、待蒸镀基板、固定台、蒸发源、抽真空装置、夹爪以及权利要求1至8中任一项所述的掩膜版组件；

所述待蒸镀基板设置在所述磁铁背板与所述掩膜版组件之间，并且所述磁铁背板配置为用于吸附所述掩膜版组件；

所述固定台设置在所述掩膜版组件的下方，所述固定台配置为用于支撑所述掩膜版组件的边框；所述夹爪配置为用于夹设所述边框，以调整所述边框在所述固定台上的位置；

所述抽真空装置与所述掩膜版组件的进气口连通；所述蒸发源位于所述待蒸镀基板远离所述磁铁背板的一侧。

10.根据权利要求9所述的蒸镀系统，其特征在于，所述抽真空装置与所述进气口之间设置有软管；

优选地，所述边框设置有所述夹爪配合的夹槽，所述进气口位于形成所述夹槽的侧面上，且所述软管集成于所述夹爪内。