[发明专利]一种双层气浮导轨高精度平台在审
| 申请号: | 202211154053.X | 申请日: | 2022-09-21 |
| 公开(公告)号: | CN115638187A | 公开(公告)日: | 2023-01-24 |
| 发明(设计)人: | 何学军;董佳佳;王爱军 | 申请(专利权)人: | 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 |
| 主分类号: | F16C29/00 | 分类号: | F16C29/00;F16C29/02;F16C29/10;F16C32/06;F16C41/00;F16H25/20;F16H49/00 |
| 代理公司: | 北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人: | 邬晓楠 |
| 地址: | 100095*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本发明公开的一种双层气浮导轨高精度平台,属于气浮平台及微调机构领域。本发明包括一级滑台、二级滑台、底座、侧滑块、限位块、导轨、微调机构、摩擦轮、侧锁紧滑块。一级滑台及二级滑台设有多个节流器,均位于一级滑台及二级滑台底部,使得一级滑台及二级滑台底面作为气浮工作面;二级滑台内可调节正负压,当需要工作台进行大量程移动时,二级滑台内为正压,当需要工作台进行高精度微调时,二级滑台内为负压;所述微调机构置于二级滑台上,连接座连接微调机构与一级滑台。本发明采用双层气浮导轨配合微调机构的方式,使得工作台既能够大量程移动、又能够高精度微小调整。本发明能够提高工作台精度、运行稳定性,便于后续维修保养。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 双层 导轨 高精度 平台 | ||
【主权项】:
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