[发明专利]一种双层气浮导轨高精度平台在审

专利信息
申请号: 202211154053.X 申请日: 2022-09-21
公开(公告)号: CN115638187A 公开(公告)日: 2023-01-24
发明(设计)人: 何学军;董佳佳;王爱军 申请(专利权)人: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
主分类号: F16C29/00 分类号: F16C29/00;F16C29/02;F16C29/10;F16C32/06;F16C41/00;F16H25/20;F16H49/00
代理公司: 北京正阳理工知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 代理人: 邬晓楠
地址: 100095*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开的一种双层气浮导轨高精度平台,属于气浮平台及微调机构领域。本发明包括一级滑台、二级滑台、底座、侧滑块、限位块、导轨、微调机构、摩擦轮、侧锁紧滑块。一级滑台及二级滑台设有多个节流器,均位于一级滑台及二级滑台底部,使得一级滑台及二级滑台底面作为气浮工作面;二级滑台内可调节正负压,当需要工作台进行大量程移动时,二级滑台内为正压,当需要工作台进行高精度微调时,二级滑台内为负压;所述微调机构置于二级滑台上,连接座连接微调机构与一级滑台。本发明采用双层气浮导轨配合微调机构的方式,使得工作台既能够大量程移动、又能够高精度微小调整。本发明能够提高工作台精度、运行稳定性,便于后续维修保养。
搜索关键词: 一种 双层 导轨 高精度 平台
【主权项】:
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