[发明专利]一种双层气浮导轨高精度平台

说明书

本发明公开的一种双层气浮导轨高精度平台，属于气浮平台及微调机构领域。本发明包括一级滑台、二级滑台、底座、侧滑块、限位块、导轨、微调机构、摩擦轮、侧锁紧滑块。一级滑台及二级滑台设有多个节流器，均位于一级滑台及二级滑台底部，使得一级滑台及二级滑台底面作为气浮工作面；二级滑台内可调节正负压，当需要工作台进行大量程移动时，二级滑台内为正压，当需要工作台进行高精度微调时，二级滑台内为负压；所述微调机构置于二级滑台上，连接座连接微调机构与一级滑台。本发明采用双层气浮导轨配合微调机构的方式，使得工作台既能够大量程移动、又能够高精度微小调整。本发明能够提高工作台精度、运行稳定性，便于后续维修保养。

技术领域

本发明涉及一种双层气浮导轨高精度平台，属于气浮平台及微调机构领域。

背景技术

在一些精密测量机械仪器中，由于其测量特性，要求工作台具有大量程移动的功能，同时，也需具有高分辨率高精度的微调功能，目前，现有的高精度平台大量程移动均采用丝杠传动、齿轮及齿轮轴传动、直线导轨等，齿轮及齿轮轴传动为传统的机械传动方式，其定位精度较低；丝杠传动虽定位精度较齿轮传动高，但其由于主要依靠摩擦力进行传动，其磨损较快；由于直线导轨精度高、承载能力强等优点，目前高精度直线运动平台最常用的传动方式为滚珠直线导轨，但其安装要求较高、维护较为复杂，成本也较高。本发明提出的双层气浮导轨高精度平台，其可依靠气浮结构可实现大量程移动，同时可依靠机械传动结构实现微小调整，实现了由粗定位到精定位的递进，因此，其定位精度较高，且摩擦小、易维护。

发明内容

本发明主要目的是提供一种双层气浮导轨高精度平台，采用双层气浮导轨配合微调机构的方式，使得工作台既可大量程移动、又能够高精度微小调整。本发明能够提高工作台精度、运行稳定性。

本发明的目的是通过下述技术方案实现的。

本发明公开的一种双层气浮导轨高精度平台，包括一级滑台、二级滑台、大理石底座、侧滑块、限位块、导轨、微调机构、摩擦轮、侧锁紧滑块。其中，所述一级滑台及所述二级滑台设有多个节流器，均位于一级滑台、二级滑台底部，使得一级滑台、二级滑台底面作为气浮工作面；所述二级滑台内通过正负压控制装置调节正负压，当需要一级滑台(即工作台)进行大量程移动时，二级滑台内为正压，当需要即一级滑台进行高精度微调时，二级滑台内为负压；所述微调机构置于二级滑台上，微调机构由调整手轮、轴承座、谐波减速器、联轴器、细分螺杆、弹性片、连接座组成，连接座连接微调机构与一级滑台。气浮导轨结合机械式微调机构的模式，使得双层气浮导轨高精度平台通过“粗定位—精定位”的方式，实现平台的大量程移动及高精度微小调整，从而实现对平台的高精度定位，且具有不易磨损、后期易维护的优点。

进一步地，所述一种双层气浮导轨高精度平台，其中：所述导轨置于所述大理石底座上，所述导轨与所述大理石底座通过螺栓相连，固定导轨在大理石底座上。所述导轨为直线型导轨，导轨结构优选为“凹”形结构，便于安装与支撑气浮组件。导轨两侧为侧滑块及摩擦轮预留出足够位置，相对两两侧滑块平行设置，且其相距距离与导轨宽度一致，相应的，相对两两侧锁紧滑块也应平行设置，相距距离与导轨宽度一致。

进一步地，所述一种双层气浮导轨高精度平台，其中：限位块共有4块，由安装座与塑胶块组成，其中两块通过螺钉固定在所述导轨两端，两块通过螺钉固定于所述一级滑台底部两端，以此来限制滑台滑动的极限位置。

进一步地，所述一种双层气浮导轨高精度平台，其中：所述侧滑块共有4块，通过螺钉与一级滑台相连，分别置于一级滑台前后两侧，所述侧滑块主要用作导向作用。

进一步地，所述一种双层气浮导轨高精度平台，其中：所述摩擦轮共有4个，通过摩擦轮安装块及螺钉置于侧滑块上，以增加滑台滑动的摩擦力，避免滑台滑动摩擦力过小，不易找正位置。