[发明专利]一种双层气浮导轨高精度平台

权利要求书

1.一种双层气浮导轨高精度平台，其特征在于：包括一级滑台、二级滑台、大理石底座、侧滑块、限位块、导轨、微调机构、摩擦轮、侧锁紧滑块；其中，所述一级滑台及所述二级滑台设有多个节流器，均位于一级滑台、二级滑台底部，使得一级滑台、二级滑台底面作为气浮工作面；所述二级滑台内通过正负压控制装置调节正负压，当需要一级滑台进行大量程移动时，二级滑台内为正压，当需要即一级滑台进行高精度微调时，二级滑台内为负压；所述微调机构置于二级滑台上，微调机构由调整手轮、轴承座、谐波减速器、联轴器、细分螺杆、弹性片、连接座组成，连接座连接微调机构与一级滑台；气浮导轨结合机械式微调机构的模式，使得双层气浮导轨高精度平台通过“粗定位—精定位”的方式，实现平台的大量程移动及高精度微小调整，从而实现对平台的高精度定位。

2.如权利要求1所述的一种双层气浮导轨高精度平台，其特征在于：所述导轨置于所述大理石底座上，所述导轨与所述大理石底座通过螺栓相连，固定导轨在大理石底座上；所述导轨为直线型导轨，导轨结构优选为“凹”形结构，便于安装与支撑气浮组件；导轨两侧为侧滑块及摩擦轮预留出足够位置，相对两两侧滑块平行设置，且其相距距离与导轨宽度一致，相应的，相对两两侧锁紧滑块也应平行设置，相距距离与导轨宽度一致。

3.如权利要求1所述的一种双层气浮导轨高精度平台，其特征在于：所述限位块共有4块，由安装座与塑胶块组成，其中两块通过螺钉固定在所述导轨两端，两块通过螺钉固定于所述一级滑台底部两端，以此来限制滑台滑动的极限位置；

所述侧滑块共有4块，通过螺钉与一级滑台相连，分别置于一级滑台前后两侧，所述侧滑块主要用作导向作用。

4.如权利要求1所述的一种双层气浮导轨高精度平台，其特征在于：所述摩擦轮共有4个，通过摩擦轮安装块及螺钉置于侧滑块上，以增加滑台滑动的摩擦力，避免滑台滑动摩擦力过小，不易找正位置；

所述一级滑台置于所述导轨上，所述一级滑台设有多个小孔节流器，小孔节流器出气口位于所述一级滑台底部，使一级滑台底部作为气浮工作面，所述一级滑台上设有进气口，进气口设于所述一级滑台两侧；

所述侧锁紧滑块有两块，通过螺钉与二级滑台相连，分别置于二级滑台两侧。

5.如权利要求1所述的一种双层气浮导轨高精度平台，其特征在于：所述二级滑台通过微调机构与一级滑台相连，二级滑台设有多个节流器，节流器出气口位于所述二级滑台底部，使二级滑台底部作为气浮工作面，所述二级滑台上设有进气口，进气口设于所述二级滑台上部，所述二级滑台出气口气压可调节正压或负压，当需要进行大量程移动时，将其调整为正压，当需要进行微调时，将其调节为负压。

6.如权利要求1所述的一种双层气浮导轨高精度平台，其特征在于：所述调整手轮作为微调机构的第一级减速结构，根据实际需要对调整手轮直径进行选择制作，所述调整手轮表面压有滚花，以增大摩擦力，方便操作者使用。

7.如权利要求1所述的一种双层气浮导轨高精度平台，其特征在于：所述谐波减速器作为微调机构的第二级减速结构，根据实际需求对谐波减速器减速比进行选择，所述谐波减速器将手轮的速度减速传动至细分螺杆。

8.如权利要求1所述的一种双层气浮导轨高精度平台，其特征在于：所述细分螺杆的导程根据实际需求对细分螺杆导程进行选择，所述细分螺杆主要起到将转动转化为移动的作用。

9.如权利要求1所述的一种双层气浮导轨高精度平台，其特征在于：所述弹性片置于连接座与细分螺杆之间，以避免气膜间隙发生变化时对所述一级滑台产生影响，避免正负压变化过程中一级滑台发生震动，进而避免影响一级滑台的运动精度。

10.如权利要求1所述的一种双层气浮导轨高精度平台，其特征在于：所述连接座置于弹性片与一级滑台中间，通过螺钉与一级滑台相连，将所述微调机构与一级滑台相连。