[发明专利]曝光装置以及物品的制造方法在审
| 申请号： | 202211121726.1 | 申请日： | 2022-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN115808854A | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 平野朝彦 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人： | 迟军;高华丽 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了曝光装置以及物品的制造方法。本发明提供能够维持每单位时间处理量的提高并且以小型且简单的构造精度良好地调整调焦的曝光装置。本发明涉及的曝光装置，以将形成于原版的第一图案分别转印到基板的基板面上的多个投射格的方式分别对多个投射格进行曝光，所述曝光装置的特征在于，具备：具有多个通道的测量部，所述多个通道各自测量多个投射格的既定的位置的表面高度；以及控制部，其基于在多个组中的既定的组中计算出的所述表面高度的偏移值来调整所述基板面的位置，所述多个投射格基于所述基板面上的所述多个投射格的配置信息和所述测量部的所述多个通道的配置信息而被分类成所述多个组。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 以及 物品 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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