[发明专利]一种微型片转移装置和微型片转移方法在审
| 申请号： | 202211111144.5 | 申请日： | 2022-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN115339874A | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 杨鼎麟;聂锦辉;郑泉水 | 申请（专利权）人： | 深圳清华大学研究院;清华大学 |
| 主分类号： | B65G47/74 | 分类号： | B65G47/74;B65G47/90 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 李林 |
| 地址： | 518063 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体器件的技术领域，公开了一种微型片转移装置和微型片转移方法，微型片转移装置包括用于转移微型片的触头以及用于驱动所述触头调整位姿的探针，所述触头采用透明材料制成，所述探针与所述触头偏置，且所述探针与所述触头固定连接或一体成型。本发明提供的微型片转移装置能够为操作人员使用显微镜从上方观察提供有利条件，从而提高微型片转移操作的精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 转移 装置 方法 | ||
【主权项】：
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