[发明专利]一种微型片转移装置和微型片转移方法在审

专利信息
申请号: 202211111144.5 申请日: 2022-09-13
公开(公告)号: CN115339874A 公开(公告)日: 2022-11-15
发明(设计)人: 杨鼎麟;聂锦辉;郑泉水 申请(专利权)人: 深圳清华大学研究院;清华大学
主分类号: B65G47/74 分类号: B65G47/74;B65G47/90
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 李林
地址: 518063 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 微型 转移 装置 方法
【权利要求书】:

1.一种微型片转移装置,其特征在于,包括:

用于转移微型片的触头(1),所述触头(1)采用透明材料制成;

用于驱动所述触头(1)调整位姿的探针(3),所述探针(3)与所述触头(1)偏置,且所述探针(3)与所述触头(1)固定连接或一体成型。

2.根据权利要求1所述的微型片转移装置,其特征在于,所述触头(1)的底部具有用于粘取微型片的粘取部,所述粘取部采用具有吸附力的弹性透明材料制成。

3.根据权利要求2所述的微型片转移装置,其特征在于,所述粘取部朝向所述微型片的一面为平面或弧形面。

4.根据权利要求3所述的微型片转移装置,其特征在于,所述粘取部的形状为半球体,所述半球体的弧形面朝向所述微型片。

5.根据权利要求2所述的微型片转移装置,其特征在于,所述粘取部朝向所述微型片的一侧面的面积大于100μm2,且小于100mm2

6.根据权利要求1所述的微型片转移装置,其特征在于,还包括连接件(2),所述探针(3)与所述触头(1)通过所述连接件(2)固定连接。

7.根据权利要求6所述的微型片转移装置,其特征在于,所述连接件(2)与所述探针(3)可拆卸连接。

8.根据权利要求1所述的微型片转移装置,其特征在于,还包括用于驱动所述触头(1)水平位移或竖直转动的转移驱动机构。

9.根据权利要求8所述的微型片转移装置,其特征在于,所述转移驱动机构包括伸缩杆(4)和用于控制所述伸缩杆(4)伸缩的控制件(5),所述伸缩杆(4)与所述探针(3)通过铰链(6)铰接,所述伸缩杆(4)与所述探针(3)之间的夹角由所述铰链(6)控制。

10.根据权利要求9所述的微型片转移装置,其特征在于,所述铰链(6)采用电动执行铰链。

11.一种微型片转移方法,其特征在于,采用显微镜(20)和如权利要求1-10任一项所述的微型片转移装置,所述显微镜(20)位于所述微型片转移装置的正上方,所述微型片转移方法包括以下步骤:

微型片位于所述显微镜(20)的正下方,驱动所述触头(1)至所述微型片和所述显微镜(20)之间;

所述探针(3)控制所述触头(1)移动粘取一个或多个待转移微型片;

所述探针(3)控制所述触头(1)移动至目标基底(10),利用范德华力将所述触头(1)上的待转移微型片置于所述目标基底(10)。

12.根据权利要求11所述的微型片转移方法,其特征在于,所述粘取部的形状为弧形面、半球体或球体,所述探针(3)控制所述触头(1)旋转粘取一个或多个待转移微型片。

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