[发明专利]一种微型片转移装置和微型片转移方法在审
申请号: | 202211111144.5 | 申请日: | 2022-09-13 |
公开(公告)号: | CN115339874A | 公开(公告)日: | 2022-11-15 |
发明(设计)人: | 杨鼎麟;聂锦辉;郑泉水 | 申请(专利权)人: | 深圳清华大学研究院;清华大学 |
主分类号: | B65G47/74 | 分类号: | B65G47/74;B65G47/90 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 李林 |
地址: | 518063 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 微型 转移 装置 方法 | ||
1.一种微型片转移装置,其特征在于,包括:
用于转移微型片的触头(1),所述触头(1)采用透明材料制成;
用于驱动所述触头(1)调整位姿的探针(3),所述探针(3)与所述触头(1)偏置,且所述探针(3)与所述触头(1)固定连接或一体成型。
2.根据权利要求1所述的微型片转移装置,其特征在于,所述触头(1)的底部具有用于粘取微型片的粘取部,所述粘取部采用具有吸附力的弹性透明材料制成。
3.根据权利要求2所述的微型片转移装置,其特征在于,所述粘取部朝向所述微型片的一面为平面或弧形面。
4.根据权利要求3所述的微型片转移装置,其特征在于,所述粘取部的形状为半球体,所述半球体的弧形面朝向所述微型片。
5.根据权利要求2所述的微型片转移装置,其特征在于,所述粘取部朝向所述微型片的一侧面的面积大于100μm2,且小于100mm2。
6.根据权利要求1所述的微型片转移装置,其特征在于,还包括连接件(2),所述探针(3)与所述触头(1)通过所述连接件(2)固定连接。
7.根据权利要求6所述的微型片转移装置,其特征在于,所述连接件(2)与所述探针(3)可拆卸连接。
8.根据权利要求1所述的微型片转移装置,其特征在于,还包括用于驱动所述触头(1)水平位移或竖直转动的转移驱动机构。
9.根据权利要求8所述的微型片转移装置,其特征在于,所述转移驱动机构包括伸缩杆(4)和用于控制所述伸缩杆(4)伸缩的控制件(5),所述伸缩杆(4)与所述探针(3)通过铰链(6)铰接,所述伸缩杆(4)与所述探针(3)之间的夹角由所述铰链(6)控制。
10.根据权利要求9所述的微型片转移装置,其特征在于,所述铰链(6)采用电动执行铰链。
11.一种微型片转移方法,其特征在于,采用显微镜(20)和如权利要求1-10任一项所述的微型片转移装置,所述显微镜(20)位于所述微型片转移装置的正上方,所述微型片转移方法包括以下步骤:
微型片位于所述显微镜(20)的正下方,驱动所述触头(1)至所述微型片和所述显微镜(20)之间;
所述探针(3)控制所述触头(1)移动粘取一个或多个待转移微型片;
所述探针(3)控制所述触头(1)移动至目标基底(10),利用范德华力将所述触头(1)上的待转移微型片置于所述目标基底(10)。
12.根据权利要求11所述的微型片转移方法,其特征在于,所述粘取部的形状为弧形面、半球体或球体,所述探针(3)控制所述触头(1)旋转粘取一个或多个待转移微型片。
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