[发明专利]一种微型片转移装置和微型片转移方法

说明书

本发明涉及半导体器件的技术领域，公开了一种微型片转移装置和微型片转移方法，微型片转移装置包括用于转移微型片的触头以及用于驱动所述触头调整位姿的探针，所述触头采用透明材料制成，所述探针与所述触头偏置，且所述探针与所述触头固定连接或一体成型。本发明提供的微型片转移装置能够为操作人员使用显微镜从上方观察提供有利条件，从而提高微型片转移操作的精确度。

技术领域

本发明涉及半导体器件技术领域，尤其涉及一种微型片转移装置和微型片转移方法。

背景技术

长期以来,摩擦和磨损问题,不但与制造业密切相关,还与能源、环境和健康直接相关。据统计,全世界约三分之一的能源在摩擦过程中被消耗掉,约80％的机器零部件失效都是由磨损造成的。结构超滑是解决摩擦磨损问题的理想方案之一，结构超滑是指两个原子级光滑且非公度接触的范德华固体表面(如石墨烯、二硫化钼等二维材料表面)之间摩擦、磨损几乎为零的现象。

由于受到大尺度石墨单晶材料制备非常困难等因素的影响，现有的单个超滑片的尺寸为仍为微米尺度的，因此仅依靠单个的单晶材料的制备来实现大尺度的超滑越来越困难。因此，研究人员提出了一种将多个小尺度超滑结构排列组合以形成大尺度结构超滑的方案，但是组装形成大尺度结构超滑，则需要对多个超滑片进行组合和转移，但是由于单个超滑片的尺寸较小，因此在转移时必须搭配显微镜使用，并从上方使用显微镜观察超滑片的转移和控制。现有转移装置本身的结构限制，导致观察和转移控制的效果不佳，影响转移操作的精确度。

因此亟需一种微型片转移装置和微型片转移方法，以解决上述的技术问题。

发明内容

基于以上所述，本发明的目的在于提供一种微型片转移装置和操作方法，为操作人员使用显微镜从上方观察提供有利条件，提高微型片转移操作的精确度。

为达上述目的，本发明采用以下技术方案：

一方面，提供一种微型片转移装置，包括：

用于转移微型片的触头，所述触头采用透明材料制成；

用于驱动所述触头调整位姿的探针，所述探针与所述触头偏置，且所述探针与所述触头固定连接或一体成型。

具体地，微型片转移装置的触头采用透明材料制成，探针与触头偏置连接，与透明的触头相适配，为操作人员使用显微镜从上方观察提供有利条件，操作人员能够透过触头观察基底上的微型片，也便于操作人员观察粘取部上是否粘有微型片及已粘取的微型片的数量，并根据观察的结果驱动触头调整位姿，从而提高微型片转移操作的精确度。

作为微型片转移装置的一个可选的技术方案，所述触头的底部具有用于粘取微型片的粘取部，所述粘取部采用具有吸附力的弹性透明材料制成。

作为微型片转移装置的一个可选的技术方案，所述粘取部朝向所述微型片的一面为平面或弧形面。

作为微型片转移装置的一个可选的技术方案，所述粘取部的形状为半球体，所述半球体的弧形面朝向所述微型片。

作为微型片转移装置的一个可选的技术方案，所述粘取部朝向所述微型片的一侧面的面积大于100μm²，且小于100mm²。

作为微型片转移装置的一个可选的技术方案，还包括连接件，所述探针与所述触头通过所述连接件固定连接。

作为微型片转移装置的一个可选的技术方案，所述连接件与所述探针可拆卸连接。

作为微型片转移装置的一个可选的技术方案，还包括用于驱动所述触头水平位移或竖直转动的转移驱动机构。

作为微型片转移装置的一个可选的技术方案，所述转移驱动机构包括伸缩杆和用于控制所述伸缩杆伸缩的控制件，所述伸缩杆与所述探针通过铰链铰接，所述伸缩杆与所述探针之间的夹角由所述铰链控制。