[发明专利]高精度蚀刻机在审
申请号: | 202211046572.4 | 申请日: | 2022-08-30 |
公开(公告)号: | CN115565836A | 公开(公告)日: | 2023-01-03 |
发明(设计)人: | 蒋建军 | 申请(专利权)人: | 常州威登电子设备有限公司 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20;H01J37/305;H01J37/32 |
代理公司: | 常州万为知识产权代理事务所(普通合伙) 32441 | 代理人: | 袁程斌 |
地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了高精度蚀刻机,属于蚀刻机技术领域,其包括外框体,所述外框体的一侧设置有控制柜,所述外框体的外表面远离控制柜的一侧对称设置有蚀刻室,两个蚀刻室之间设置有便捷翻面装置,所述外框体的两侧均设置有传送台。该高精度蚀刻机,通过设置便捷翻面装置,相较于传统的单个蚀刻室,设置两个蚀刻室可以在翻面过程中,将待蚀刻物体翻至另一个蚀刻室进行蚀刻,此时通过设置在两个蚀刻室之间的第一螺纹杆和第二螺纹杆作用,可以带动第一矩形框进行水平和竖直方向的运动,进而可以在转动杆的作用下,带动第一U形框转动,进而可以在第三螺纹杆的作用下,可以带动两个连接板相向运动,进而使得两个橡胶板相向运动。 | ||
搜索关键词: | 高精度 蚀刻 | ||
【主权项】:
暂无信息
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