[发明专利]高精度蚀刻机在审

专利信息
申请号: 202211046572.4 申请日: 2022-08-30
公开(公告)号: CN115565836A 公开(公告)日: 2023-01-03
发明(设计)人: 蒋建军 申请(专利权)人: 常州威登电子设备有限公司
主分类号: H01J37/20 分类号: H01J37/20;H01J37/305;H01J37/32
代理公司: 常州万为知识产权代理事务所(普通合伙) 32441 代理人: 袁程斌
地址: 213000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 高精度 蚀刻
【权利要求书】:

1.一种高精度蚀刻机,其特征在于:包括外框体(1),所述外框体(1)的一侧设置有控制柜(2),所述外框体(1)的外表面远离控制柜(2)的一侧对称设置有蚀刻室(3),两个蚀刻室(3)之间设置有便捷翻面装置(4),所述外框体(1)的两侧均设置有传送台(5),所述传送台(5)的外表面一侧固定安装有第一电机(6),所述第一电机(6)的输出端固定连接有传动辊(7),所述传动辊(7)的外表面设置有传动带(10),所述传送台(5)的一侧设置有限位装置(8),所述传动辊(7)的外表面设置有轮片结构(9),所述外框体(1)的顶部设置有气泵(11)和气箱(12),所述气泵(11)的进气口和出气口分别连通有进气管(13)和出气管(14),所述进气管(13)远离气泵(11)的一端与气箱(12)相连通,所述出气管(14)远离气泵(11)的一端与蚀刻室(3)的内部相连通,所述蚀刻室(3)的内壁顶部设置有电磁板(15);

所述便捷翻面装置(4)包括第二电机(41)、橡胶板(421)和橡胶圆凸块(422),所述第二电机(41)与外框体(1)的外表面一侧固定连接,两个所述蚀刻室(3)相接处固定连接有矩形环框(42),所述第二电机(41)的输出端固定连接有第一螺纹杆(43),所述第一螺纹杆(43)的外表面螺纹连接有第一螺孔块(45),所述第一螺孔块(45)的外表面固定连接有第一燕尾滑块(46),所述矩形环框(42)的内壁顶部开设有第一矩形槽(44),所述第一矩形槽(44)的内壁与第一燕尾滑块(46)的外表面滑动连接。

2.根据权利要求1所述的高精度蚀刻机,其特征在于:所述第一螺孔块(45)的外表面底部固定连接有第一矩形框(47),所述第一矩形框(47)的外表面底部固定安装有第三电机(48),所述第三电机(48)的输出端固定连接有第二螺纹杆(49),所述第二螺纹杆(49)的外表面螺纹连接有第二螺孔块(410),所述第二螺孔块(410)的外表面一侧固定连接有第二矩形框(411)。

3.根据权利要求2所述的高精度蚀刻机,其特征在于:所述第二矩形框(411)的内壁一侧固定安装有第四电机(412),所述第四电机(412)的输出端固定连接有转动杆(413),所述转动杆(413)的外表面一端固定连接有第一U形框(414),所述第一U形框(414)的外表面顶部固定安装有第五电机(415),所述第五电机(415)的输出端固定连接有第三螺纹杆(416),所述第三螺纹杆(416)的两端螺纹形状呈相反对称排列。

4.根据权利要求3所述的高精度蚀刻机,其特征在于:所述第三螺纹杆(416)的外表面对称螺纹连接有第三螺孔块(417),所述第三螺孔块(417)的外表面固定连接有第二燕尾滑块(418),所述第一U形框(414)的内壁一侧开设有第二矩形槽(419),所述第二燕尾滑块(418)的外表面与第二矩形槽(419)的内壁滑动连接,两个所述第三螺孔块(417)的外表面均固定连接有连接板(420),所述连接板(420)的外表面与橡胶板(421)的外表面固定连接,所述橡胶板(421)的外表面与橡胶圆凸块(422)的外表面固定连接。

5.根据权利要求4所述的高精度蚀刻机,其特征在于:其中一个所述连接板(420)的外表面一侧固定连接有第一矩形块(423),另一个所述连接板(420)的外表面一侧固定连接有第二矩形块(427),所述第一矩形块(423)的外表面底部固定连接有第四螺纹杆(424),所述第四螺纹杆(424)的外表面螺纹连接有螺纹筒(425),所述螺纹筒(425)的外表面底部固定连接有限位圆块(426),所述第二矩形块(427)的外表面顶部固定连接有限位圆框(428),所述限位圆块(426)的外表面大小和形状与限位圆框(428)的内壁大小和形状相适配。

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