[发明专利]高精度蚀刻机在审

专利信息
申请号: 202211046572.4 申请日: 2022-08-30
公开(公告)号: CN115565836A 公开(公告)日: 2023-01-03
发明(设计)人: 蒋建军 申请(专利权)人: 常州威登电子设备有限公司
主分类号: H01J37/20 分类号: H01J37/20;H01J37/305;H01J37/32
代理公司: 常州万为知识产权代理事务所(普通合伙) 32441 代理人: 袁程斌
地址: 213000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 高精度 蚀刻
【说明书】:

发明公开了高精度蚀刻机,属于蚀刻机技术领域,其包括外框体,所述外框体的一侧设置有控制柜,所述外框体的外表面远离控制柜的一侧对称设置有蚀刻室,两个蚀刻室之间设置有便捷翻面装置,所述外框体的两侧均设置有传送台。该高精度蚀刻机,通过设置便捷翻面装置,相较于传统的单个蚀刻室,设置两个蚀刻室可以在翻面过程中,将待蚀刻物体翻至另一个蚀刻室进行蚀刻,此时通过设置在两个蚀刻室之间的第一螺纹杆和第二螺纹杆作用,可以带动第一矩形框进行水平和竖直方向的运动,进而可以在转动杆的作用下,带动第一U形框转动,进而可以在第三螺纹杆的作用下,可以带动两个连接板相向运动,进而使得两个橡胶板相向运动。

技术领域

本发明属于蚀刻机技术领域,具体为高精度蚀刻机。

背景技术

蚀刻机可以分为化学蚀刻机及电解蚀刻机两类,在化学蚀刻中是使用化学溶液,经由化学反应以达到蚀刻的目的,化学蚀刻机是将材料用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。

现有技术的蚀刻机主要包括外框体、传送台、蚀刻室、气泵、气箱和电磁板,在传送台的作用下将待蚀刻的物体传送至蚀刻室内,此时在气泵的作用下使得惰性气体充斥蚀刻室,再在电磁板的作用下,使得气体转化为等离子颗粒进而对待蚀刻物体进行物体撞击,进而精准进行蚀刻,但是在蚀刻的过程中,常需要对物体的两面均进行蚀刻,需要在物体的一面蚀刻完毕后将其取出,进行翻面后再放置进去,步骤繁琐。

为了解决物体在对两面均进行蚀刻时需要取出翻面再放置进去进而导致步骤繁琐的问题,现有技术是采取在蚀刻室的内部将物体夹持后进行翻面,但是这样的方式使得翻面时不易控制夹持力度,容易造成物体的外表面损坏。

发明内容

(一)解决的技术问题

为了克服现有技术的上述缺陷,本发明提供了高精度蚀刻机,解决了物体在对两面均进行蚀刻时需要取出翻面再放置进去进而导致步骤繁琐的问题,现有技术是采取在蚀刻室的内部将物体夹持后进行翻面,但是这样的方式使得翻面时不易控制夹持力度,容易造成物体的外表面损坏的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:高精度蚀刻机,包括外框体,所述外框体的一侧设置有控制柜,所述外框体的外表面远离控制柜的一侧对称设置有蚀刻室,两个蚀刻室之间设置有便捷翻面装置,所述外框体的两侧均设置有传送台,所述传送台的外表面一侧固定安装有第一电机,所述第一电机的输出端固定连接有传动辊,所述传动辊的外表面设置有传动带,所述传送台的一侧设置有限位装置,所述传动辊的外表面设置有轮片结构,所述外框体的顶部设置有气泵和气箱,所述气泵的进气口和出气口分别连通有进气管和出气管,所述进气管远离气泵的一端与气箱相连通,所述出气管远离气泵的一端与蚀刻室的内部相连通,所述蚀刻室的内壁顶部设置有电磁板。

所述便捷翻面装置包括第二电机、橡胶板和橡胶圆凸块,所述第二电机与外框体的外表面一侧固定连接,两个所述蚀刻室相接处固定连接有矩形环框,所述第二电机的输出端固定连接有第一螺纹杆,所述第一螺纹杆的外表面螺纹连接有第一螺孔块,所述第一螺孔块的外表面固定连接有第一燕尾滑块,所述矩形环框的内壁顶部开设有第一矩形槽,所述第一矩形槽的内壁与第一燕尾滑块的外表面滑动连接。

作为本发明的进一步方案:所述第一螺孔块的外表面底部固定连接有第一矩形框,所述第一矩形框的外表面底部固定安装有第三电机,所述第三电机的输出端固定连接有第二螺纹杆,所述第二螺纹杆的外表面螺纹连接有第二螺孔块,所述第二螺孔块的外表面一侧固定连接有第二矩形框。

作为本发明的进一步方案:所述第二矩形框的内壁一侧固定安装有第四电机,所述第四电机的输出端固定连接有转动杆,所述转动杆的外表面一端固定连接有第一U形框,所述第一U形框的外表面顶部固定安装有第五电机,所述第五电机的输出端固定连接有第三螺纹杆,所述第三螺纹杆的两端螺纹形状呈相反对称排列。

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