[发明专利]转印膜、具有导体图案的层叠体的制造方法在审
申请号: | 202211043699.0 | 申请日: | 2022-08-29 |
公开(公告)号: | CN115729036A | 公开(公告)日: | 2023-03-03 |
发明(设计)人: | 鬼塚悠 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/027;G03F7/16;G03F7/42;B41M5/50 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 薛海蛟 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种能够制造厚度厚且纵横比大的抗蚀图案的转印膜及具有导体图案的层叠体的制造方法。一种转印膜,其具有临时支承体和感光性组合物层,其中,感光性组合物层的平均膜厚为10μm以上,感光性组合物层包含敏化剂及重均分子量为10000以上的树脂,树脂包含具有交联性基团的结构单元,具有交联性基团的结构单元的含量相对于树脂的所有结构单元为30质量%以上,感光性组合物层在波长365nm下的透射率为40%以上。 | ||
搜索关键词: | 转印膜 具有 导体 图案 层叠 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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