[发明专利]一种TiN-TiN/TiSiN-TiSiN纳米多层梯度复合涂层及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202211035223.2 | 申请日： | 2022-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN115418608B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 陈汪林;黄勇浩;李喆;王成勇 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/32;C23C14/54 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 陈嘉毅 |
| 地址： | 510090 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种TiN‑TiN/TiSiN‑TiSiN纳米多层梯度复合涂层及其制备方法和应用，该涂层，包括依次连接的第一TiN层、TiN/TiSiN纳米多层和第一TiSiN层，其中，所述第一TiN层为底层，底层与基体连接；所述TiN/TiSiN纳米多层为由第二TiN层与第二TiSiN层交替沉积组成的多层结构，所述多层结构为至少100层，所述TiN/TiSiN纳米多层的厚度为1.0～7.0μm。本发明的TiN‑TiN/TiSiN‑TiSiN纳米多层梯度复合涂层具有较好的韧性，其与基体之间的结合力也较强，有利于拓展该涂层的应用领域和工业化生产规模。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tin tisin 纳米 多层 梯度 复合 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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