[发明专利]基于多腔CVD设备的腔体温度控制系统

摘要

本发明涉及CVD设备的腔体温度控制领域，公开了基于多腔CVD设备的腔体温度控制系统，所述多腔CVD设备的腔体温度控制系统包括主控模块，主控模块包括显示单元和处理单元，且主控模块用于接收、处理整个系统的数据传输，并对其他设备发送控制命令，位置定位模块包括多个位置定位单元，腔体对应安装的位置定位单元用于对CVD设备中此腔体的位置进行定位，温控模块包括多套磁控管单元，且每套磁控管单元包括一个磁控管冷却仪器和磁控管加热仪器，测温模块用于对CVD设备每个腔体的位置进行温度检测，计算分析模块用于计算腔体内部达到的最终温度，判断对比模块用于腔体内部最终温度是否达到工作所需的温度，判断温度是否达到预期值，减少温度误差。