[发明专利]一种硅片清洗机用干燥装置在审
| 申请号： | 202211001700.3 | 申请日： | 2022-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN115615147A | 公开（公告）日： | 2023-01-17 |
| 发明（设计）人： | 刘温志;许程超;沈飞;黄杰 | 申请（专利权）人： | 浙江艾科半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/08 | 分类号： | F26B5/08;F26B11/18;F26B25/18;F26B25/08;F26B25/02 |
| 代理公司： | 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) 33253 | 代理人： | 金亚丁 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了硅片干燥技术领域的一种硅片清洗机用干燥装置，包括干燥箱，所述干燥箱内转动连接有安装座，所述安装座通过固定柱固定连接有固定环，所述安装座的上方设置有四个第一固定块；四个所述第一固定块的上方均设置有第二固定块，四个所述第二固定块均与固定环滑动连接，四个所述第一固定块和四个所述第二固定块共同固定连接有顶部开口的网兜，所述网兜呈倒方形台状，所述干燥箱内设置有顶出组件、第一驱动组件和第二驱动组件，所述顶出组件用于将干燥后的硅片向上顶出；所述第一驱动组件用于驱动安装座带动网兜转动干燥；所述第二驱动组件在第一驱动组件的带动下使网兜的顶部收紧；本发明可以使硅片更好地进行干燥。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 干燥 装置 | ||
【主权项】：
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