[发明专利]一种硅片清洗机用干燥装置

权利要求书

1.一种硅片清洗机用干燥装置，包括干燥箱(1)，其特征在于：所述干燥箱(1)内转动连接有安装座(2)，所述安装座(2)通过固定柱(3)固定连接有固定环(4)，所述安装座(2)的上方设置有四个第一固定块(5)；四个所述第一固定块(5)的上方均设置有第二固定块(6)，四个所述第二固定块(6)均与固定环(4)滑动连接，四个所述第一固定块(5)和四个所述第二固定块(6)共同固定连接有顶部开口的网兜(7)，所述网兜(7)呈倒方形台状，所述干燥箱(1)内设置有顶出组件、第一驱动组件和第二驱动组件，所述顶出组件用于将干燥后的硅片向上顶出；所述第一驱动组件用于驱动安装座(2)带动网兜(7)转动干燥；所述第二驱动组件在第一驱动组件的带动下使网兜(7)的顶部收紧。

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用干燥装置，其特征在于：所述顶出组件包括第一连杆(8)，所述第一连杆(8)设置为四个，四个所述第一连杆(8)分别与四个第一固定块(5)转动连接，四个所述第一连杆(8)共同转动连接有顶板(9)，所述顶板(9)与安装座(2)在竖直方向上滑动连接，所述顶板(9)的下方设置有直线驱动机构，所述直线驱动机构用于驱动顶板(9)在竖直方向上移动。

3.根据权利要求2所述的一种硅片清洗机用干燥装置，其特征在于：所述顶板(9)在竖直方向上滑动连接有第一滑块(10)，所述第一滑块(10)上固定连接有第一弹簧(11)，所述第一弹簧(11)的顶端与顶板(9)固定连接；所述干燥箱(1)内固定连接有圆筒(12)，所述圆筒(12)内开设有凸轮槽(13)，所述凸轮槽(13)内有滑动配合有滑柱(14)，所述滑柱(14)与顶板(9)固定连接。

4.根据权利要求3所述的一种硅片清洗机用干燥装置，其特征在于：所述直线驱动机构包括气缸(15)，所述气缸(15)与干燥箱(1)固定连接，所述气缸(15)的输出轴与第一滑块(10)转动连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用干燥装置，其特征在于：所述第一驱动组件包括第一齿轮(16)，所述第一齿轮(16)与安装座(2)同心设置，且第一齿轮(16)与安装座(2)固定连接，所述第一齿轮(16)啮合有第二齿轮(17)，第二齿轮(17)的转动轴上传动连接有电机(18)，所述电机(18)与干燥箱(1)固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用干燥装置，其特征在于：所述第二驱动组件包括第二连杆(19)，所述第二连杆(19)设置为四个，四个所述第二连杆(19)分别与第二固定块(6)转动连接，所述第二连杆(19)的底端共同转动连接有滑动环(20)，所述滑动环(20)与固定柱(3)在竖直方向上滑动连接，所述滑动环(20)上固定连接有顶杆(21)，所述顶杆(21)的底端穿过安装座(2)并延伸至安装座(2)下方；所述顶杆(21)上套装有用于其复位的第二弹簧(22)；所述干燥箱(1)内固定连接有滑道(23)，所述滑道(23)上开设有梯形槽口(24)，所述顶杆(21)的底端与梯形槽口(24)的底端贴合，所述梯形槽口(24)的侧边设置有梯形块(25)，所述梯形块(25)能够与梯形槽口(24)配合，所述梯形块(25)上固定连接有滑板(26)，所述滑板(26)与干燥箱(1)滑动连接；所述滑板(26)上固定连接有用于其复位的第三弹簧(27)；所述滑板(26)上固定连接有齿条杆(28)，所述齿条杆(28)啮合有第三齿轮(29)，所述第三齿轮(29)与第二齿轮(17)固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种硅片清洗机用干燥装置，其特征在于：所述顶杆(21)的底部设置为半球形。

8.根据权利要求1所述的一种硅片清洗机用干燥装置，其特征在于：相邻两个所述第一固定块(5)之间均共同固定连接有第四弹簧(30)。