[发明专利]一种硅片清洗机用干燥装置

说明书

本发明公开了硅片干燥技术领域的一种硅片清洗机用干燥装置，包括干燥箱，所述干燥箱内转动连接有安装座，所述安装座通过固定柱固定连接有固定环，所述安装座的上方设置有四个第一固定块；四个所述第一固定块的上方均设置有第二固定块，四个所述第二固定块均与固定环滑动连接，四个所述第一固定块和四个所述第二固定块共同固定连接有顶部开口的网兜，所述网兜呈倒方形台状，所述干燥箱内设置有顶出组件、第一驱动组件和第二驱动组件，所述顶出组件用于将干燥后的硅片向上顶出；所述第一驱动组件用于驱动安装座带动网兜转动干燥；所述第二驱动组件在第一驱动组件的带动下使网兜的顶部收紧；本发明可以使硅片更好地进行干燥。

技术领域

本发明涉及硅片干燥技术领域，具体为一种硅片清洗机用干燥装置。

背景技术

由于硅片在经过抛光后，其表面会残留有抛光产生的灰尘碎屑等，通过会采用超纯水对硅片表面进行清洗，在清洗完毕后还需要对硅片表面的水渍进行及时干燥。

现有技术对清洗后硅片的干燥手段通常是将硅片直接放入到干燥装置内，然后使硅片在干燥装置内进行快速转动，在干燥的同时将硅片表面的水渍甩出，硅片在转动甩干的过程中容易出现磕碰的情况，容易造成硅片的损伤，由于对硅片表面很光滑，硅片粘在一起后不容易分开，容易导致硅片之间的水渍无法及时甩出，会导致硅片需要进行二次干燥，会大大降低硅片的干燥效率。

基于此，本发明设计了一种硅片清洗机用干燥装置，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种硅片清洗机用干燥装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种硅片清洗机用干燥装置，包括干燥箱，所述干燥箱内转动连接有安装座，所述安装座通过固定柱固定连接有固定环，所述安装座的上方设置有四个第一固定块；四个所述第一固定块的上方均设置有第二固定块，四个所述第二固定块均与固定环滑动连接，四个所述第一固定块和四个所述第二固定块共同固定连接有顶部开口的网兜，所述网兜呈倒方形台状，所述干燥箱内设置有顶出组件、第一驱动组件和第二驱动组件，所述顶出组件用于将干燥后的硅片向上顶出；所述第一驱动组件用于驱动安装座带动网兜转动干燥；所述第二驱动组件在第一驱动组件的带动下使网兜的顶部收紧。

作为本发明的进一步方案，所述顶出组件包括第一连杆，所述第一连杆设置为四个，四个所述第一连杆分别与四个第一固定块转动连接，四个所述第一连杆共同转动连接有顶板，所述顶板与安装座在竖直方向上滑动连接，所述顶板的下方设置有直线驱动机构，所述直线驱动机构用于驱动顶板在竖直方向上移动。

作为本发明的进一步方案，所述顶板在竖直方向上滑动连接有第一滑块，所述第一滑块上固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧的顶端与顶板固定连接；所述干燥箱内固定连接有圆筒，所述圆筒内开设有凸轮槽，所述凸轮槽内有滑动配合有滑柱，所述滑柱与顶板固定连接。

作为本发明的进一步方案，所述直线驱动机构包括气缸，所述气缸与干燥箱固定连接，所述气缸的输出轴与第一滑块转动连接。

作为本发明的进一步方案，所述第一驱动组件包括第一齿轮，所述第一齿轮与安装座同心设置，且第一齿轮与安装座固定连接，所述第一齿轮啮合有第二齿轮，第二齿轮的转动轴上传动连接有电机，所述电机与干燥箱固定连接。