[发明专利]一种通用于提高四波横向剪切干涉仪检测灵敏度的方法在审
| 申请号： | 202210987611.4 | 申请日： | 2022-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN115493710A | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 王青蓝;陈小君;胡常安;全海洋;胡松;李建科;朱咸昌;刘俊伯 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02;G06F17/14 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 邓治平 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种通用于提高四波横向剪切干涉仪检测灵敏度的方法，属于光学精密检测领域。该方法只需要采样一幅干涉条纹图，通过条纹处理即可将四波横向剪切干涉仪波前斜率灵敏度提升两倍。本发明的优点在于解决了传统四波横向剪切干涉仪需要调整光栅与相机靶面的距离来提升灵敏度、操作复杂、调整误差大的问题。原理清晰，操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通用 提高 横向 剪切 干涉仪 检测 灵敏度 方法 | ||
【主权项】：
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