[发明专利]一种通用于提高四波横向剪切干涉仪检测灵敏度的方法

权利要求书

1.一种通用于提高四波横向剪切干涉仪检测灵敏度的方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

步骤一、采集得到一幅四波横向剪切干涉条纹图，其光强表达式为：

其中，I为干涉条纹光强,I₀为干涉条纹背景光强分布，s为四束一级衍射光沿x方向或y方向的剪切量，k为波数，p为振幅光栅周期，W为待测波前分布，和分别代表波前x方向和y方向的波前斜率，和分别代表波前沿X轴45°方向和-45°方向的波前斜率；

步骤二、对式(1)进行傅里叶变换，得到光强I的频谱分布，取出频谱中X方向和Y方向的频谱并进行反傅里叶变换，得到新的光强表达式为：

步骤三、对I₁求平方，再次得到新的光强表达式为：

步骤四、对I₂采用傅里叶变换求相位方法，即可得到X及Y方向的波前斜率利用该两个正交方向的波前斜率通过波前复原方法即可复原得到被测波前W。

2.根据权利要求1所述的一种通用于提高四波横向剪切干涉仪检测灵敏度的方法，其特征在于，

步骤四中，所述波前复原方法通过如下列表达式实现：

其中，W为被测波前，FT代表傅里叶变换，u和v分别为频谱横纵坐标变量。