[发明专利]一种芯片三维堆叠封装结构及其制造方法在审

专利信息
申请号: 202210980550.9 申请日: 2022-08-16
公开(公告)号: CN115172330A 公开(公告)日: 2022-10-11
发明(设计)人: 刘燚;殷翔 申请(专利权)人: 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司
主分类号: H01L23/538 分类号: H01L23/538;H01L21/768;H01L25/16;H01L23/498;H01L21/60
代理公司: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 代理人: 王锴
地址: 214135 江苏省无锡市新*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供一种芯片三维堆叠封装结构及其制造方法。芯片三维堆叠封装结构包括:基板;位于基板表面的第一芯片;第一芯片倒装于基板表面;第一芯片具有多个第一互联接脚;位于第一芯片正面的重布线层;位于重布线层背向第一芯片表面的第二芯片;第二芯片正装于重布线层,第二芯片具有多个第二互联接脚,第二互联接脚通过重布线层连接第一芯片的第一互联接脚;第一芯片还具有多个引出接脚,引出接脚通过重布线层引出至重布线层背向第一芯片一侧表面,并进一步互联连接至基板。
搜索关键词: 一种 芯片 三维 堆叠 封装 结构 及其 制造 方法
【主权项】:
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