[发明专利]一种芯片三维堆叠封装结构及其制造方法在审
申请号: | 202210980550.9 | 申请日: | 2022-08-16 |
公开(公告)号: | CN115172330A | 公开(公告)日: | 2022-10-11 |
发明(设计)人: | 刘燚;殷翔 | 申请(专利权)人: | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 |
主分类号: | H01L23/538 | 分类号: | H01L23/538;H01L21/768;H01L25/16;H01L23/498;H01L21/60 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 王锴 |
地址: | 214135 江苏省无锡市新*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供一种芯片三维堆叠封装结构及其制造方法。芯片三维堆叠封装结构包括:基板;位于基板表面的第一芯片;第一芯片倒装于基板表面;第一芯片具有多个第一互联接脚;位于第一芯片正面的重布线层;位于重布线层背向第一芯片表面的第二芯片;第二芯片正装于重布线层,第二芯片具有多个第二互联接脚,第二互联接脚通过重布线层连接第一芯片的第一互联接脚;第一芯片还具有多个引出接脚,引出接脚通过重布线层引出至重布线层背向第一芯片一侧表面,并进一步互联连接至基板。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 三维 堆叠 封装 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
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